[实用新型]一种掩膜板

说明书

本实用新型公开了一种掩膜板，包括：基板和遮挡板；所述基板和若干个所述遮挡板一体化设置；所述遮挡板上开设有若干个凹槽，所述凹槽的厚度尺寸和所述遮挡板的厚度尺寸相同；所述遮挡板的厚度为小于10纳米。如此，由于遮挡板的厚度为小于10纳米，所以避免了现有技术中因金属掩膜板只能制作面积较大的OLED器件的问题，本实用新型能够制作出面积较小的OLED微显示器，扩展了制作OLED显示产品的范围。

技术领域

本实用新型涉及掩膜板技术领域，尤其是一种掩膜板。

背景技术

在OLED显示产品制作时，采用蒸镀的方法制作OLED产品是相对比较成熟的一种方法。

现有技术中，使用蒸镀方法制作OLED器件时，要使用金属掩膜板，然而，金属掩膜板只能制作面积较大的OLED器件，而OLED微显示器的面积较小，其中，OLED微显示器像素尺寸较小，因此，基于传统的金属掩膜板无法制作出面积较小的OLED微显示器。

基于此，如何设计一种掩膜板，能够制作出面积较小的OLED微显示器，是本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种掩膜板，避免现有技术中因金属掩膜板只能制作面积较大的OLED器件的问题，本实用新型能够制作出面积较小的OLED微显示器，扩展了制作OLED显示产品的范围。

本实用新型解决其技术问题是采取以下技术方案实现的：

本实用新型实施例提供了一种掩膜板，包括：基板和遮挡板；

所述基板和若干个所述遮挡板一体化设置；

所述遮挡板上开设有若干个凹槽，所述凹槽的厚度尺寸和所述遮挡板的厚度尺寸相同；

所述遮挡板的厚度为小于10纳米。

可选地，在本实用新型实施例中，所述基板的厚度为10-100纳米。

可选地，在本实用新型实施例中，所述凹槽的宽度尺寸和与所述基板相抵设置的硅晶圆的各个像素的宽度尺寸相同。

可选地，在本实用新型实施例中，每一所述凹槽的形状设置为条状；

每一所述凹槽的长度均相同。

可选地，在本实用新型实施例中，各个所述凹槽(3)平行设置。

本实用新型的优点和积极效果是：

第一、在本实用新型中，遮挡板的厚度设置为小于10纳米，因此，本实用新型能够制作出面积较小的OLED微显示器，避免现有技术中因金属掩膜板只能制作面积较大的OLED器件的问题，扩展了制作OLED显示产品的范围。

第二、遮挡板的厚度设置为小于10纳米，基板的厚度为10-100纳米，也就是说，基板的厚度大于遮挡板的厚度，因此，基板可以起到支撑的作用，增强本实用新型的机械强度。

第三、通过设置凹槽，凹槽的宽度尺寸和遮挡板的厚度尺寸相同，因此，在后续对硅晶圆的各个像素进行蒸镀时，有利于将凹槽和硅晶圆的各个像素进行对齐，以便对硅晶圆的各个像素进行蒸镀，从而使得后续实现制成OLED 显示产品。

附图说明

图1是本实用新型的提供的一种掩膜板的结构示意图的正视剖面图；

图2是本实用新型的提供的一种掩膜板的结构示意图的俯视图；

附图标记：

1、基板；2、遮挡板；3、凹槽。

具体实施方式