[实用新型]一种方便填料的气相沉积炉

权利要求书

1.一种方便填料的气相沉积炉，包括平台底座（1）、真空炉（2）、安装架（3）及真空系统（4），其特征在于，所述平台底座（1）的中部开设有一个滑轨（5），所述滑轨（5）上设有一个可沿所述滑轨（5）滑动的轨道车（6），所述安装架（3）包括支撑杆（31）及安装平台（32），所述支撑杆（31）分别安装于所述滑轨（5）的两侧，所述安装平台（32）固定安装于滑轨（5）两侧的支撑杆（31）之间，所述真空炉（2）固定安装于所述安装平台（32）上，所述真空炉（2）包括炉筒（21）、上炉盖（22）及下炉盖（23），所述炉筒（21）对齐所述滑轨（5）垂直安装于所述安装平台（32）上，所述上炉盖（22）可拆卸地密封安装于所述炉筒（21）的上端开口上，所述轨道车（6）的上端设有一个升降台（7），所述下炉盖（23）可放置于所述升降台（7）上，所述下炉盖（23）沿其周向开设有数个安装孔（24），所述下炉盖（23）可通过所述安装孔（24）密封封堵于所述炉筒（21）的下端开口上，所述真空系统（4）与真空炉（2）通过管路连接。

2.根据权利要求1所述的一种方便填料的气相沉积炉，其特征在于，所述真空系统（4）包括真空泵（41）、过滤罐（42）、冷凝罐（43）及真空管（44），所述真空泵（41）与所述真空炉（2）通过真空管（44）连通，所述过滤罐（42）及冷凝罐（43）依次设置于所述真空管（44）上，所述真空泵（41）与过滤罐（42）之间的真空管（44）上设有气动阀（45）及调节阀（46）。

3.根据权利要求1所述的一种方便填料的气相沉积炉，其特征在于，所述炉筒（21）的底部均匀设置有数个安装支架（25），所述真空炉（2）通过所述安装支架（25）固定安装于所述安装平台（32）上。

4.根据权利要求1所述的一种方便填料的气相沉积炉，其特征在于，所述升降台（7）可通过外接驱动装置，所述驱动装置可驱动所述升降台（7）沿竖直方向进行升降。

5.根据权利要求4所述的一种方便填料的气相沉积炉，其特征在于，所述驱动装置可以为驱动气缸或者驱动电机中的一种。