[实用新型]一种用于薄膜溅射台的汇流板有效
| 申请号： | 202023268285.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214368466U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张强 | 申请（专利权）人： | 上海悦匠实业有限公司 |
| 主分类号： | F16L41/03 | 分类号： | F16L41/03;F17D3/01;F17D5/00;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201600 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 薄膜 溅射 汇流 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于薄膜溅射台的汇流板，其特征在于，其包括汇流板主体，所述汇流板主体中心位置处沿着长度方向开设有主进气道，所述汇流板主体的侧面开设有多个与主进气道连通的出气分配孔，该些出气分配孔均螺纹连接有阀门，该些阀门中除最后一个阀门外的每一个阀门连接不同的用气模块，该些阀门中最后一个阀门连接有压力传感器，所述压力传感器与控制器电连接，所述控制器与报警器电连接，所述主进气道的进气端螺纹连接有快接插头，所述快接插头通过气管连接高压气管。
2.如权利要求1所述的用于薄膜溅射台的汇流板，其特征在于，所述汇流板主体的侧面开设有十个与主进气道连通的出气分配孔。
3.如权利要求1所述的用于薄膜溅射台的汇流板，其特征在于，所述阀门采用手动阀。
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