[实用新型]一种用于薄膜溅射台的汇流板

说明书

本实用新型公开了一种用于薄膜溅射台的汇流板，包括汇流板主体，所述汇流板主体中心位置处沿着长度方向开设有主进气道，所述汇流板主体的侧面开设有多个与主进气道连通的出气分配孔，该些出气分配孔均螺纹连接有阀门，该些阀门中除最后一个阀门外的每一个阀门连接不同的用气模块，该些阀门中最后一个阀门连接有压力传感器，所述压力传感器与控制器电连接，所述控制器与报警器电连接，所述主进气道的进气端螺纹连接有快接插头，所述快接插头通过气管连接高压气管。

技术领域

本实用新型涉及薄膜溅射台技术领域，特别是涉及一种用于薄膜溅射台的汇流板。

背景技术

应用材料的5500型镀膜机使用范围广，是目前半导体薄膜溅射的常用机型，此机台的高压气动部分是直接分配到多个用气模块，一旦有任何其中一个用气模块发生故障需要检修时，就必须整台停掉并关闭压缩空气来操作，非常不便。由于5500溅射台的压缩空气直接和厂务高压气体相通，中间只靠三通管分配。针对压缩空气相关的电子件如用气模块进行维修时，需要整台停机进行维修，非常不便。

实用新型内容

为了解决应用材料5500溅射台压缩空气分配的实际需要，并能对单个用气模块独立开关气源，本实用新型提供了一种用于薄膜溅射台的汇流板。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：

本实用新型提供一种用于薄膜溅射台的汇流板，其特点在于，其包括汇流板主体，所述汇流板主体中心位置处沿着长度方向开设有主进气道，所述汇流板主体的侧面开设有多个与主进气道连通的出气分配孔，该些出气分配孔均螺纹连接有阀门，该些阀门中除最后一个阀门外的每一个阀门连接不同的用气模块，该些阀门中最后一个阀门连接有压力传感器，所述压力传感器与控制器电连接，所述控制器与报警器电连接，所述主进气道的进气端螺纹连接有快接插头，所述快接插头通过气管连接高压气管。

较佳地，所述汇流板主体的侧面开设有十个与主进气道连通的出气分配孔，前九个阀门中每一个阀门连接不同的用气模块，第十个阀门连接有压力传感器。

较佳地，所述阀门采用手动阀。

在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本实用新型各较佳实例。

本实用新型的积极进步效果在于：

本实用新型通过结构、外形设计来实现独立控制不同用气模块气源要求，不仅可以实现对于用气模块的独立控制，又可以实际监测气源压力，有问题随时报警。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的用于薄膜溅射台的汇流板的结构示意图。

图2为本实用新型较佳实施例的汇流板主体的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1和2所示，本实施例提供一种用于薄膜溅射台的汇流板，其包括汇流板主体1，所述汇流板主体1中心位置处沿着长度方向开设有主进气道2，所述汇流板主体1的侧面开设有10个与主进气道2连通的出气分配孔3，每一个出气分配孔3均螺纹(规格为1/4-20NPT螺纹)连接有阀门4(手动阀)，该些阀门4中前9个阀门4连接不同的用气模块(图中未示出)，第10个阀门4连接有压力传感器5，所述压力传感器5与控制器电连接，所述控制器与报警器电连接，所述主进气道2的进气端螺纹(进气端螺纹为3/8NPT螺纹)连接有快接插头6，所述快接插头6通过气管7连接高压气管。