[实用新型]一种用于蒸镀的送料装置有效

专利信息
申请号: 202023271795.X 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN214327862U 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 林志斌;林泽 申请(专利权)人: 福建华佳彩有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 林祥翔;徐剑兵
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 装置
【权利要求书】:

1.一种用于蒸镀的送料装置,其特征在于,包括挂钩和旋转压合机构;

所述挂钩为多个,多个的挂钩用于设置在基板的四周,每个所述挂钩均包括承载区域,所述承载区域的顶部为平面,所述承载区域的顶部用于承载基板;

每个所述挂钩上均设置有旋转压合机构,所述旋转压合机构包括旋转臂和触头,所述旋转臂的一端可转动地设置在所述挂钩上,所述旋转臂的另一端设置有所述触头,所述触头的底部为平面,所述触头的底部用于和承载区域一起对基板进行压合固定。

2.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀的送料装置,其特征在于,所述挂钩还包括立杆;

所述立杆的一端设置在所述承载区域的顶部上,所述旋转臂的一端可转动地设置在所述立杆的另一端上。

3.根据权利要求2所述的一种用于蒸镀的送料装置,其特征在于,还包括基板,所述基板放置在多个的所述承载区域的顶部上,所述基板与所述立杆之间具有间隔。

4.根据权利要求3所述的一种用于蒸镀的送料装置,其特征在于,还包括光罩,所述光罩包括基板放置区和多个的凹槽,所述基板设置在所述基板放置区上,多个的凹槽设置在所述凹槽的外侧,并沿着所述基板放置区设置;

一个凹槽对应一个挂钩,且一个凹槽设置在一个挂钩的下方,所述凹槽用于容置挂钩。

5.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀的送料装置,其特征在于,所述触头为防静电的触头。

6.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀的送料装置,其特征在于,还包括压力传感器,所述压力传感器的检测端设置在触头的底部处。

7.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀的送料装置,其特征在于,还包括横向移动机构,所述横向移动机构的伸缩端连接所述挂钩的非承载区域,所述横向移动机构的伸缩端用于在水平方向上移动挂钩。

8.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀的送料装置,其特征在于,还包括旋转移动机构,所述旋转移动机构的转动端连接所述挂钩的非承载区域,所述旋转移动机构的转动端用于带动挂钩向基板方向转动。

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