[实用新型]一种用于蒸镀的送料装置

说明书

本实用新型公布一种用于蒸镀的送料装置，包括挂钩和旋转压合机构；所述挂钩为多个，多个的挂钩用于设置在所述基板的四周，每个所述挂钩均包括承载区域，所述承载区域的顶部为平面，所述承载区域的顶部用于承载基板；每个所述挂钩上均设置有旋转压合机构，所述旋转压合机构包括旋转臂和触头，所述旋转臂的一端可转动地设置在所述挂钩上，所述旋转臂的另一端设置有所述触头，所述触头的底部为平面，所述触头的底部用于和承载区域一起对基板进行压合固定。上述技术方案挂钩和旋转压合机构之间的配合能够提升基板的稳定性，使基板始终在挂钩的控制范围内，进一步避免基板发生滑片或者破片，不仅提高设备的稼动率，还提高了蒸镀的产品质量。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备领域，尤其涉及一种用于蒸镀的送料装置。

背景技术

挂钩是承载基板并控制基板下降后和光罩一起对位压合的部件，挂钩的结构具有缺陷，例如：挂钩通常是仅在基板的底面搭接，进而支撑玻璃并移动，但基板因为重力地原因，导致基板的中间下垂，使得基板在与光罩对位放下时，因为摩擦、平铺移动等原因造成偏移，影响对位精度。且厚度越薄的玻璃形变量越大，导致基板与光罩的对位精度的偏差越大，甚至因为基板的形变量过大而导致基板破片，造成蒸镀出不合格的产品。同时，基板和在光罩对位过程中，因基板本身具有的静电吸附等因素也会导致基板的位置偏移。当基板和距离光罩上表面的薄片(sheet)靠得过近时，基板会吸起光罩上表面的薄片(sheet)。当基板出现滑片或者破片时均需要停止生产，并且需要打开蒸镀腔来清理破片。这极大程度地降低了设备的稼动率，也提高了生产成本。

实用新型内容

为此，需要提供一种用于蒸镀的送料装置，解决挂钩承载基板时，基板会出滑片的问题。

为实现上述目的，本实施例提供了一种用于蒸镀的送料装置，包括挂钩和旋转压合机构；

所述挂钩为多个，多个的挂钩用于设置在基板的四周，每个所述挂钩均包括承载区域，所述承载区域的顶部为平面，所述承载区域的顶部用于承载基板；

每个所述挂钩上均设置有旋转压合机构，所述旋转压合机构包括旋转臂和触头，所述旋转臂的一端可转动地设置在所述挂钩上，所述旋转臂的另一端设置有所述触头，所述触头的底部为平面，所述触头的底部用于和承载区域一起对基板进行压合固定。

进一步地，所述挂钩还包括立杆；

所述立杆的一端设置在所述承载区域的顶部上，所述旋转臂的一端可转动地设置在所述立杆的另一端上。

进一步地，还包括基板，所述基板放置在多个的所述承载区域的顶部上，所述基板与所述立杆之间具有间隔。

进一步地，还包括光罩，所述光罩包括基板放置区和多个的凹槽，所述基板设置在所述基板放置区上，多个的凹槽设置在所述凹槽的外侧，并沿着所述基板放置区设置；

一个凹槽对应一个挂钩，且一个凹槽设置在一个挂钩的下方，所述凹槽用于容置挂钩。

进一步地，所述触头为防静电的触头。

进一步地，还包括压力传感器，所述压力传感器的检测端设置在触头的底部处。

进一步地，还包括横向移动机构，所述横向移动机构的伸缩端连接所述挂钩的非承载区域，所述横向移动机构的伸缩端用于在水平方向上移动挂钩。

进一步地，还包括旋转移动机构，所述旋转移动机构的转动端连接所述挂钩的非承载区域，所述旋转移动机构的转动端用于带动挂钩向基板方向转动。