[实用新型]一种掩膜板有效
| 申请号： | 202023276185.9 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214327855U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 温质康;乔小平;苏智昱 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜板，包括框架，所述框架包括镂空区域和非镂空区域，其特征在于，还包括承接层；
所述承接层设置在所述框架的一面，且所述承接层位于非镂空区域上，所述承接层为微纳米颗粒结构，所述承接层用于附着有机材料；
在所述承接层的表面上设置有第一凹凸结构或者疏水层，所述第一凹凸结构用于增加承接层和有机材料之间的附着力。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜板，其特征在于，所述框架还包括第二凹凸结构，所述第二凹凸结构包括多个孔，所述第二凹凸结构设置在所述框架的表面。
3.根据权利要求2所述的一种掩膜板，其特征在于，所述孔的深度为a，2微米≤a≤6微米。
4.根据权利要求1所述的一种掩膜板，其特征在于，所述框架为因瓦合金的框架。
5.根据权利要求1所述的一种掩膜板，其特征在于，所述承接层为金属层。
6.根据权利要求1所述的一种掩膜板，其特征在于，所述承接层的厚度为b，0.5微米≤b≤1微米。
7.根据权利要求1所述的一种掩膜板，其特征在于，所述疏水层为有机物。
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