[实用新型]一种掩膜板

说明书

本实用新型公布一种掩膜板，包括框架，所述框架包括镂空区域和非镂空区域，掩膜板还包括承接层；所述承接层设置在所述框架的一面，且所述承接层位于非镂空区域上，所述承接层为微纳米颗粒结构，所述承接层用于附着有机材料；在所述承接层上相对于所述框架的一面上设置有第一凹凸结构或者疏水层，所述第一凹凸结构用于增加承接层和有机材料之间的附着力。上述技术方案具有如下优点：提高掩膜板单次使用时间，减少掩膜板清洗的频率，进而延长掩膜板的使用寿命，进一步降低生产成本，最终提高企业的经济转化率。有机材料能够附着在第一凹凸结构上，不易掉落至下方的真空腔体中，可以确保真空腔体的洁净度。有机材料不与疏水层相结合或相粘结。

技术领域

本实用新型涉及掩膜板领域，尤其涉及一种掩膜板。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode)OLED显示装置具备低功耗，宽视角，响应速度快，超轻期薄，抗震性好等特点。目前采用蒸镀方式制备OLED显示装置。

在蒸镀成膜过程中，真空腔体内对有机分子(有机材料)进行加热，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过掩膜板的镂空区域沉积在玻璃基板上。对于非镂空区域，有机材料直接沉积在掩膜板上。掩膜板多采用因瓦(Invar) 合金制作，因瓦合金具有精细、脆弱、超薄等特点。掩膜板经过一段时间的蒸镀后，掩膜板上面的有机材料累积的越来越厚，有机薄膜有脱落的风险，掉落的薄膜粉尘不仅影响基板上发光层的膜质，还影响蒸镀腔体中的原料平品质，进而影响OLED器件的寿命及发光效率。所以掩膜板需要定期清洗。

目前掩膜板清洗工艺普遍采用湿式药液浸泡清洗，清洗后的药液采取直接排放污染环境，湿式药液浸泡清洗的效率低，价格还昂贵。

蒸镀的材料有银、镁、铜以及发光层的有机材料，其中发光层中的有机薄膜多为疏水性，掩膜板多为亲水性，所以蒸镀有机薄膜时，有机薄膜翘曲而脱落的风险比金属薄膜翘曲而脱落的风险更大。

实用新型内容

为此，需要提供一种掩膜板，解决掩膜板上附着的有机材料会脱落的问题。

为实现上述目的，本实施例提供了一种掩膜板，包括框架，所述框架包括镂空区域和非镂空区域，还包括承接层；

所述承接层设置在所述框架的一面，且所述承接层位于非镂空区域上，所述承接层为微纳米颗粒结构，所述承接层用于附着有机材料；

在所述承接层的表面上设置有第一凹凸结构或者疏水层，所述第一凹凸结构用于增加承接层和有机材料之间的附着力。

进一步地，所述框架还包括第二凹凸结构，所述第二凹凸结构包括多个孔，所述第二凹凸结构设置在所述框架的表面。

进一步地，所述孔的深度为a，2微米≤a≤6微米。

进一步地，所述框架为因瓦合金的框架。

进一步地，所述承接层为金属层。

进一步地，所述承接层的厚度为b，0.5微米≤b≤1微米。

进一步地，所述疏水层为有机物。

区别于现有技术，上述技术方案具有如下优点：第一，提高掩膜板单次使用时间，减少掩膜板清洗的频率，进而延长掩膜板的使用寿命，进一步降低生产成本，最终提高企业的经济转化率。第二，有机材料能够附着在第一凹凸结构上，不易掉落至下方的真空腔体中，可以确保真空腔体的洁净度。第三，发光层中的有机薄膜多为疏水性，有机材料不与疏水层相结合或相粘结，使得掩膜板保持整洁。

附图说明

图1为本实施例所述掩膜板的剖面结构示意图；

图2为本实施例所述镂空区域和非镂空区域的剖面结构示意图。

附图标记说明：

1、掩膜板；