[实用新型]一种抛光载具有效
| 申请号： | 202023276732.3 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN215148064U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 陈文鹏;张洁;林武庆;叶智荃 | 申请（专利权）人： | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨鹏 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 | ||
【权利要求书】：
1.一种抛光载具，用于固定进行抛光工艺的样品，其特征在于，所述抛光载具包括：底板及挡环，所述挡环安装在所述底板上，所述挡环与所述底板形成安装槽，所述安装槽用于安装样品，所述挡环采用弹性材料制成，可调节所述安装槽的深度。
2.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述挡环为空心结构，所述挡环上设置有充气口，所述充气口用于与外部气源连接，使所述外部气源向所述挡环内充气，调节所述挡环的厚度，从而调节所述安装槽的深度。
3.根据权利要求2所述的抛光载具，其特征在于，所述抛光载具还包括充气接头，所述充气接头设置在所述充气口处，并与所述外部气源接触。
4.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述挡环的厚度小于所述样品的厚度。
5.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述底板与所述挡环粘接。
6.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述挡环为橡胶环、塑胶环或硅胶环。
7.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述底板为塑性板。
8.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述底板为圆形，所述底板的直径与所述挡环的外径相等。
9.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述底板用于与所述样品贴合，以固定所述样品。
10.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述挡环的内径大于所述样品的直径。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南三安半导体有限责任公司，未经湖南三安半导体有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202023276732.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
