[实用新型]晶圆夹持装置

权利要求书

1.一种晶圆夹持装置，包括两个夹臂用于夹持晶圆，其特征在于：还包括一个滑轨以及转台，夹臂的端部设置在滑轨上可沿其滑动，两个夹臂位于滑轨上的端部分别铰接一个连接片，连接片的另一端与转台铰接，转台连接电机转轴由其带动转动；当两个夹臂夹紧后，连接片与转台的铰接轴心与电机轴心位于同一平面，且该平面与滑轨平行，且任意连接片的两端均位于电机轴心的两侧。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于：所述连接片与转台连接的端部呈半圆形。

3.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于：连接片的两端连线与电机轴心线垂直相交。

4.根据权利要求1或者2所述的晶圆夹持装置，其特征在于：所述夹臂上设置若干个夹块，夹块表面设置有凹槽，凹槽与晶圆外边缘相配合。

5.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于：还包括一个传感器用于感知夹臂之间是否存在晶圆。

6.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于：还包括两个位置传感器，所述夹臂位于转台的端部还设置有感应片，位置传感器用于探测感应片。