[实用新型]一种插片机用插片盒的固定装置有效

专利信息
申请号: 202023280051.4 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN213546280U 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 冯震坤 申请(专利权)人: 无锡荣能半导体材料有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 代理人: 姬颖敏
地址: 214183 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 插片机用插片盒 固定 装置
【权利要求书】:

1.一种插片机用插片盒的固定装置,其特征在于:包括支撑插片盒的底盘机构(1)、夹持所述插片盒一端的第一夹持机构(2)、驱动所述第一夹持机构(2)夹持所述插片盒的第一驱动装置(3)、夹持所述插片盒另一端的第二夹持机构(4)、驱动所述第二夹持机构(4)夹持所述插片盒的第二驱动装置(5)、和驱动所述插片盒移动的移动机构(6);所述插片盒放置在所述底盘机构(1)上;所述第一夹持机构(2)和所述第二夹持机构(4)分别设置在所述移动机构(6)上所述插片盒两端;所述第一驱动装置(3)相对设置在所述移动机构(6)上所述插片盒的一端;所述第二驱动装置(5)相对设置在所述移动机构(6)上所述插片盒的另一端。

2.根据权利要求1所述的插片机用插片盒的固定装置,其特征在于:所述底盘机构(1)包括放置所述插片盒的底板(11)和限制所述插片盒的限位销(12);所述限位销(12)并列设置在所述底板(11)上;所述限位销(12)嵌入所述插片盒。

3.根据权利要求1所述的插片机用插片盒的固定装置,其特征在于:所述第一夹持机构(2)包括设置在所述底盘机构(1)上的旋转轴(21)、交错旋转设置在所述旋转轴(21)上的第一夹持杆(22)、压紧所述插片盒的第一压块(23)和开设在所述第一压块(23)上的第一压槽(24);所述第一压块(23)设置在所述第一夹持杆(22)的一端;所述第一驱动装置(3)驱动所述第一夹持杆(22)的另一端;所述插片盒嵌入所述第一压槽(24)。

4.根据权利要求3所述的插片机用插片盒的固定装置,其特征在于:所述第一驱动装置(3)包括连接所述第一夹持杆(22)的第一驱动块(31)、开设在所述第一驱动块(31)上的第一驱动槽(32)和驱动所述第一驱动块(31)移动的第一动力装置(33);所述第一夹持杆(22)的另一端置于所述第一驱动槽(32)内。

5.根据权利要求1所述的插片机用插片盒的固定装置,其特征在于:所述第二夹持机构(4)包括夹持架(41)、压紧所述插片盒的第二夹持杆(42)、向外推动所述第二夹持杆(42)的弹性装置(43)和开设在所述第二夹持杆(42)一端的第二压槽(44);所述第二夹持杆(42)旋转设置在所述夹持架(41)的两侧;所述弹性装置(43)的一端连接所述第二夹持杆(42),所述弹性装置(43)的另一端连接所述夹持架(41);所述第二驱动装置(5)连接所述第二夹持杆(42)的另一端。

6.根据权利要求5所述的插片机用插片盒的固定装置,其特征在于:所述第二驱动装置(5)包括连接所述第二夹持杆(42)的第二驱动块(51)、开设在所述第二驱动块(51)上的第二驱动槽(52)和驱动所述第二驱动块(51)的第二动力装置(53);所述第二夹持杆(42)的另一端置于所述第二驱动槽(52)内。

7.根据权利要求6所述的插片机用插片盒的固定装置,其特征在于:所述夹持架(41)两侧设置有导向件(45)、开设在所述导向件(45)上的导向孔(46)和旋转设置在所述第二夹持杆(42)上的导向轮(47);所述导向轮(47)沿所述导向孔(46)内滚动。

8.根据权利要求1所述的插片机用插片盒的固定装置,其特征在于:所述移动机构(6)包括移动架(61)、旋转设置在所述移动架(61)内的螺杆(62)、移动设置在所述螺杆(62)上的移动块(63)、驱动所述螺杆(62)旋转的第三动力装置(64)、设置在所述移动块(63)上的移动板(65)和防水的防护套(66);所述螺杆(62)连接所述第三动力装置(64)的驱动端;所述防护套(66)套设在所述螺杆(62)上所述移动块(63)的两侧;所述底盘机构(1)、所述第一夹持机构(2)、所述第一驱动装置(3)、所述第二夹持机构(4)和所述第二驱动装置(5)设置在所述移动板(65)上。

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