[实用新型]一种流水线用多层式固化烤箱有效
申请号: | 202023288908.7 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN214012911U | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 王仕初;李奇林;欧阳鸿 | 申请(专利权)人: | 深圳双十科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 | 代理人: | 王久明 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 流水线 多层 固化 烤箱 | ||
1.一种流水线用多层式固化烤箱,其特征在于,包括机架,所述机架上设置有物料通道以及位于其左右两侧的两个多层烤箱,所述物料通道上设置有临时放置物料治具的缓冲放置位;所述机架还包括位于所述物料通道上方的移料组件,所述移料组件包括轨道架和带动物料治具移动的移料头;所述轨道架上设置有带动所述移料头转动的旋转电机、带动所述移料头以及所述旋转电机升降的Z轴组件、带动所述Z轴组件沿Y轴横移的Y轴组件和带动所述Y轴组件沿X轴横移的X轴组件。
2.根据权利要求1所述的流水线用多层式固化烤箱,其特征在于,所述移料头包括纵向的支杆和设置在所述支杆底端的接料板。
3.根据权利要求2所述的流水线用多层式固化烤箱,其特征在于,所述支杆上设置有花键且外部套设有花键齿轮,所述旋转电机通过驱动所述花键齿轮来驱动所述支杆旋转。
4.根据权利要求1-3任一所述的流水线用多层式固化烤箱,其特征在于,所述缓冲放置位上设置有两条并排的支撑杆,两所述支撑杆的相对一侧表面设置有多个支撑物料治具的支撑柱。
5.根据权利要求1-3任一所述的流水线用多层式固化烤箱,其特征在于,所述轨道架与两个所述多层烤箱的上端均固定连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳双十科技有限公司,未经深圳双十科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202023288908.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造