[实用新型]一种流水线用多层式固化烤箱有效
申请号: | 202023288908.7 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN214012911U | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 王仕初;李奇林;欧阳鸿 | 申请(专利权)人: | 深圳双十科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 | 代理人: | 王久明 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 流水线 多层 固化 烤箱 | ||
本实用新型涉及流水线用多层式固化烤箱,包括机架,机架上设置有物料通道以及两个多层烤箱,物料通道上设置有缓冲放置位;机架还包括移料组件,移料组件包括轨道架和移料头;轨道架上设置有旋转电机、Z轴组件、Y轴组件和X轴组件;移料头接到外部的载有物料的物料治具后,旋转180度,而后在X轴组件的带动下进入物料通道内并移动到与多层烤箱对应的放置位置处,移料头旋转90度并通过Z轴组件调节高度,而后通过Y轴组件带动移料头将物料治具送入烤箱内,反之则可以将烘烤好的物料移出,此外,物料通道中还设置有缓冲放置位来缓存待烘烤物料或烘烤好来不及马上移出的物料,大幅提升了烘烤效率,同时也十分适合自动化生产线使用。
技术领域
本实用新型涉及IC加工技术领域,更具体地说,涉及一种流水线用多层式固化烤箱。
背景技术
在IC加工流程中,经常需要对物料进行烘烤操作,目前采用的方式大都是单独的烘烤箱,由人工移料进烘烤箱并由人工进行移出,生产效率较低且无法适用在自动化生产线。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种流水线用多层式固化烤箱。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
构造一种流水线用多层式固化烤箱,其中,包括机架,所述机架上设置有物料通道以及位于其左右两侧的两个多层烤箱,所述物料通道上设置有临时放置物料治具的缓冲放置位;所述机架还包括位于所述物料通道上方的移料组件,所述移料组件包括轨道架和带动物料治具移动的移料头;所述轨道架上设置有带动所述移料头转动的旋转电机、带动所述移料头以及所述旋转电机升降的Z轴组件、带动所述Z轴组件沿Y轴横移的Y轴组件和带动所述Y轴组件沿X轴横移的X轴组件。
本实用新型所述的流水线用多层式固化烤箱,其中,所述移料头包括纵向的支杆和设置在所述支杆底端的接料板。
本实用新型所述的流水线用多层式固化烤箱,其中,所述支杆上设置有花键且外部套设有花键齿轮,所述旋转电机通过驱动所述花键齿轮来驱动所述支杆旋转。
本实用新型所述的流水线用多层式固化烤箱,其中,所述缓冲放置位上设置有两条并排的支撑杆,两所述支撑杆的相对一侧表面设置有多个支撑物料治具的支撑柱。
本实用新型所述的流水线用多层式固化烤箱,其中,所述轨道架与两个所述多层烤箱的上端均固定连接。
本实用新型的有益效果在于:应用本申请的设备,移料头接到外部的载有物料的物料治具后,旋转180度,而后在X轴组件的带动下进入物料通道内并移动到与多层烤箱对应的放置位置处,移料头旋转90度并通过Z轴组件调节高度,而后通过Y轴组件带动移料头将物料治具送入烤箱内,反之则可以将烘烤好的物料移出,此外,物料通道中还设置有缓冲放置位来缓存待烘烤物料或烘烤好来不及马上移出的物料,大幅提升了烘烤效率,同时也十分适合自动化生产线使用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明,下面描述中的附图仅仅是本发明的部分实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他附图:
图1是本实用新型较佳实施例的流水线用多层式固化烤箱结构示意图;
图2是本实用新型较佳实施例的流水线用多层式固化烤箱支撑杆放大示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本实用新型的部分实施例,而不是全部实施例。基于本发明的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型的保护范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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