[实用新型]气浮台放置用支撑装置

权利要求书

1.气浮台放置用支撑装置，其特征在于：包括从下到上依次设置的升降组件、承力柱、气浮球窝和气浮球体，所述承力柱设在所述升降组件的上端且上下移动，所述气浮球窝设在所述承力柱的上端，所述气浮球体设在所述气浮球窝内，气浮球体和气浮球窝配合工作状态下，二者形成三自由度气浮结构气浮球体的上端设置待测零件；

所述承力柱的外圈设置托举外环，所述托举外环相对所述承力柱上下滑动设置，所述托举外环的上端设有托举内环，非工作状态下，所述推举内环对所述气浮球体进行支撑。

2.根据权利要求1所述的气浮台放置用支撑装置，其特征在于：所述气浮球体、气浮球窝和承力柱的重心重合设置。

3.根据权利要求1所述的气浮台放置用支撑装置，其特征在于：所述托举外环的外圈设有支座，所述支座上设有竖直设置的导向轴，所述承力柱的外圈设有轴承支架，所述轴承支架内设有轴承，所述轴承与所述导向轴同轴设置，所述轴承相对所述导向轴上下移动，所述托举外环上设有供所述支撑架上下移动的避位孔。

4.根据权利要求3所述的气浮台放置用支撑装置，其特征在于：所述支座上下成对设置且设置成多对，多对相对托举外环的轴线均布设置，所述导向轴的两端分别固定在成对的两个支座上。

5.根据权利要求3所述的气浮台放置用支撑装置，其特征在于：所述轴承分为直线轴承，包括直线轴承a和直线轴承b，分别位于所述轴承支撑的上下两端。

6.根据权利要求1-5任一项所述的气浮台放置用支撑装置，其特征在于：所述托举内环的硬度小于所述气浮球体的硬度，支撑状态下，所述托举内环与所述气浮球体的外表面贴合设置，升降组件对托举外环的下端面进行限位，托举状态下，所述托举内环对所述气浮球窝的上极限位置进行限位。

7.根据权利要求1-5任一项所述的气浮台放置用支撑装置，其特征在于：所述升降组件包括气缸、油缸或电动升降结构。

8.根据权利要求1-5任一项所述的气浮台放置用支撑装置，其特征在于：所述升降组件设在六自由度水平台上，所述六自由度水平台的下端设有调节其高低的地脚螺钉。