[实用新型]一种晶棒脱胶加热平台

权利要求书

1.一种晶棒脱胶加热平台，其特征在于：包括下机架（1），所述的下机架（1）上端设有晶棒（3），所述的晶棒（3）下端设有垫块（4），所述的垫块（4）下端设有加热板（8），所述的加热板（8）与下机架（1）间设有隔热板（16），所述的垫块（4）两侧端均设有若干呈等间距分布且与晶棒（3）相弧面贴合的升降托块（6），所述的下机架（1）内设有与下机架（1）相轴承式嵌套的丝杆（11），所述的丝杆（11）上设有与丝杆（11）相套接的升降推拉板（15），所述的升降推拉板（15）与丝杆（11）间设有丝杆位移套（14），所述的升降推拉板（15）与升降托块（6）间均设有升降杆（9）。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒脱胶加热平台，其特征在于：所述的丝杆（11）下端设有与丝杆（11）相齿形啮合的升降手轮（13），所述的升降手轮（13）与下机架（1）间设有与升降手轮（13）相轴承式嵌套连接的支撑耳板座（10）。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒脱胶加热平台，其特征在于：所述的垫块（4）与加热板（8）间设有燕尾槽移动块（5），所述的燕尾槽移动块（5）两端均设有燕尾槽定位块（7）。

4.根据权利要求1所述的一种晶棒脱胶加热平台，其特征在于：所述的下机架（1）下端设有若干地脚（12）。

5.根据权利要求1所述的一种晶棒脱胶加热平台，其特征在于：所述的下机架（1）上端设有上罩壳（2）。