[实用新型]一种晶棒脱胶加热平台有效
申请号: | 202023292226.3 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214562080U | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 石建群 | 申请(专利权)人: | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人: | 沈相权 |
地址: | 311201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 脱胶 加热 平台 | ||
本实用新型涉及一种晶棒脱胶加热平台,所属脱胶加工设备技术领域,包括下机架,所述的下机架上端设有晶棒,所述的晶棒下端设有垫块,所述的垫块下端设有加热板,所述的加热板与下机架间设有隔热板,所述的垫块两侧端均设有若干呈等间距分布且与晶棒相弧面贴合的升降托块,所述的下机架内设有与下机架相轴承式嵌套的丝杆,所述的丝杆上设有与丝杆相套接的升降推拉板,所述的升降推拉板与丝杆间设有丝杆位移套,所述的升降推拉板与升降托块间均设有升降杆。具有结构简单、省时省力、脱胶稳定性好和工作效率高的特点。
技术领域
本实用新型涉及脱胶加工设备技术领域,具体涉及一种晶棒脱胶加热平台。
背景技术
随着世界能耗的不断增加,能源危机日趋严重,不断的开发新能源是世界各国都在努力的目标,在各种可再生能源中,太阳能是一种既清洁又廉价的可再生能源,开发前景无限,硅片是太阳能电池发电系统中的核心组件,也是太阳能发电系统中价值最高的部分,其作用是将太阳能转化为电能,或将能量送往蓄电池中存储起来,或推动负载工作。
硅片是由硅块切割而成的,硅块切割前要先粘接在粘接板上,再通过粘接板与托盘的粘接来实现硅块与托盘的连接和定位,而后进行切割,粘接于粘接板和托盘上的工序产品称为晶棒。而且对于粘接数据异常的晶棒,需要进行脱胶再次粘接的需要。
硅块在切割完成后将切割好的硅片从粘接板上脱离的过程称为脱胶,将粘接板从托盘上脱离下来的过程称为化胶。目前,在硅块切割后晶棒的脱胶、化胶处理分为两个独立的工序,采用预清洗机对硅片与粘接板进行温水脱胶处理,粘接板与托盘则采用水煮化胶机进行分离,其中预清洗工序脱胶与化胶的原理相同,均采用温水软化胶体的方式,整个操作工序需要生产工人手工操作,生产现场温度偏高且化胶时异味较大,造成化胶工序工人劳动强度大,工作效率低。
发明内容
本实用新型主要解决现有技术中存在劳动强度大、脱胶稳定性差和工作效率低的不足,提供了一种晶棒脱胶加热平台,其具有结构简单、省时省力、脱胶稳定性好和工作效率高的特点。
本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:
一种晶棒脱胶加热平台,包括下机架,所述的下机架上端设有晶棒,所述的晶棒下端设有垫块,所述的垫块下端设有加热板,所述的加热板与下机架间设有隔热板,所述的垫块两侧端均设有若干呈等间距分布且与晶棒相弧面贴合的升降托块,所述的下机架内设有与下机架相轴承式嵌套的丝杆,所述的丝杆上设有与丝杆相套接的升降推拉板,所述的升降推拉板与丝杆间设有丝杆位移套,所述的升降推拉板与升降托块间均设有升降杆。
作为优选,所述的丝杆下端设有与丝杆相齿形啮合的升降手轮,所述的升降手轮与下机架间设有与升降手轮相轴承式嵌套连接的支撑耳板座。
作为优选,所述的垫块与加热板间设有燕尾槽移动块,所述的燕尾槽移动块两端均设有燕尾槽定位块。
作为优选,所述的下机架下端设有若干地脚。
作为优选,所述的下机架上端设有上罩壳。
本实用新型能够达到如下效果:
本实用新型提供了一种晶棒脱胶加热平台,与现有技术相比较,具有结构简单、省时省力、脱胶稳定性好和工作效率高的特点。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中:下机架1,上罩壳2,晶棒3,垫块4,燕尾槽移动块5,升降托块6,燕尾槽定位块7,加热板8,升降杆9,支撑耳板座10,丝杆11,地脚12,升降手轮13,丝杆位移套14,升降推拉板15,隔热板16。
具体实施方式
下面通过实施例,并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
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