[实用新型]一种集束式匀胶显影设备有效

专利信息
申请号: 202023292417.X 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN213843757U 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 张军区;杜国强;董金良 申请(专利权)人: 无锡环亚微电子有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 代理人: 王俊
地址: 214000 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 集束 式匀胶 显影 设备
【权利要求书】:

1.一种集束式匀胶显影设备,包括主体(1)和喷管(4),其特征在于:所述主体(1)的内部固定连接有显影舱(2),且显影舱(2)的右侧水平安设有主泵(3),所述喷管(4)位于主泵(3)的右侧,且喷管(4)的下方固定连接有淋头(5),所述淋头(5)的下方安装有副转轮(6),且副转轮(6)的前端安装有副辅轮(7),所述副辅轮(7)的外壁套接有皮带(8),且皮带(8)的内部活动连接有主转轮(9),所述主转轮(9)的前端安装有主辅轮(10),且主辅轮(10)的外壁套接有转带(11),所述主辅轮(10)的内部安装有转杆(12),所述主转轮(9)的右侧垂直安设有冲洗舱(13),且冲洗舱(13)的内部固定连接有水箱(14),所述水箱(14)的左侧水平安设有副泵(15),且副泵(15)的左侧固定连接有淋管(16),所述淋管(16)的下方固定连接有喷头(17),所述冲洗舱(13)的右侧垂直安设有烘干舱(18),且烘干舱(18)的内部垂直安设有电机(19),所述电机(19)的左右两侧均固定连接有安装架(20),且电机(19)的下方活动连接有转轴(21),所述转轴(21)的下方固定连接有转叶(22)。

2.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备,其特征在于:所述主泵(3)的右侧与喷管(4)的左侧之间紧密贴合,且淋头(5)呈等距状分布于喷管(4)的下表面。

3.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备,其特征在于:所述副辅轮(7)的中轴线与主转轮(9)的中轴线相重合,且副辅轮(7)通过皮带(8)与主转轮(9)构成带传动。

4.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备,其特征在于:所述水箱(14)的外部尺寸与冲洗舱(13)的内部尺寸相吻合,且副泵(15)呈水平状安置于冲洗舱(13)的上表面。

5.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备,其特征在于:所述淋管(16)的右侧与副泵(15)的左侧之间紧密贴合,且喷头(17)呈等距状分布于淋管(16)的下表面。

6.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备,其特征在于:所述安装架(20)呈对称状安置于电机(19)的左右两侧,且电机(19)通过转轴(21)与转叶(22)构成旋转结构。

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