[实用新型]一种集束式匀胶显影设备有效
申请号: | 202023292417.X | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN213843757U | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 张军区;杜国强;董金良 | 申请(专利权)人: | 无锡环亚微电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人: | 王俊 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集束 式匀胶 显影 设备 | ||
1.一种集束式匀胶显影设备,包括主体(1)和喷管(4),其特征在于:所述主体(1)的内部固定连接有显影舱(2),且显影舱(2)的右侧水平安设有主泵(3),所述喷管(4)位于主泵(3)的右侧,且喷管(4)的下方固定连接有淋头(5),所述淋头(5)的下方安装有副转轮(6),且副转轮(6)的前端安装有副辅轮(7),所述副辅轮(7)的外壁套接有皮带(8),且皮带(8)的内部活动连接有主转轮(9),所述主转轮(9)的前端安装有主辅轮(10),且主辅轮(10)的外壁套接有转带(11),所述主辅轮(10)的内部安装有转杆(12),所述主转轮(9)的右侧垂直安设有冲洗舱(13),且冲洗舱(13)的内部固定连接有水箱(14),所述水箱(14)的左侧水平安设有副泵(15),且副泵(15)的左侧固定连接有淋管(16),所述淋管(16)的下方固定连接有喷头(17),所述冲洗舱(13)的右侧垂直安设有烘干舱(18),且烘干舱(18)的内部垂直安设有电机(19),所述电机(19)的左右两侧均固定连接有安装架(20),且电机(19)的下方活动连接有转轴(21),所述转轴(21)的下方固定连接有转叶(22)。
2.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备,其特征在于:所述主泵(3)的右侧与喷管(4)的左侧之间紧密贴合,且淋头(5)呈等距状分布于喷管(4)的下表面。
3.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备,其特征在于:所述副辅轮(7)的中轴线与主转轮(9)的中轴线相重合,且副辅轮(7)通过皮带(8)与主转轮(9)构成带传动。
4.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备,其特征在于:所述水箱(14)的外部尺寸与冲洗舱(13)的内部尺寸相吻合,且副泵(15)呈水平状安置于冲洗舱(13)的上表面。
5.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备,其特征在于:所述淋管(16)的右侧与副泵(15)的左侧之间紧密贴合,且喷头(17)呈等距状分布于淋管(16)的下表面。
6.根据权利要求1所述的一种集束式匀胶显影设备,其特征在于:所述安装架(20)呈对称状安置于电机(19)的左右两侧,且电机(19)通过转轴(21)与转叶(22)构成旋转结构。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡环亚微电子有限公司,未经无锡环亚微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202023292417.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:用于液晶屏外观的自动检测装置
- 下一篇:一种匀胶显影机温湿度调节系统