[实用新型]一种集束式匀胶显影设备

说明书

本实用新型属于集成电路制造光刻技术领域，具体公开了一种集束式匀胶显影设备，包括主体和喷管，所述主体的内部固定连接有显影舱，且显影舱的右侧水平安设有主泵，所述喷管位于主泵的右侧，且喷管的下方固定连接有淋头，所述淋头的下方安装有副转轮，且副转轮的前端安装有副辅轮，所述副辅轮的外壁套接有皮带，且皮带的内部活动连接有主转轮，所述主转轮的前端安装有主辅轮。该集束式匀胶显影设备，与现有的普通集束式匀胶显影设备相比，该装置内的相关设置可提高装置的进料效率，该设计替代了传统人工手动送料，提高装置生产效率该装置进料、显影、冲洗和烘干，四重结构相互配合一体化设置，使得装置的工作效率更高、安全性更高。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种集束式匀胶显影设备。

背景技术

光刻胶是集成电路制造工艺中的一种关键材料，其过程主要包括涂布、烘烤、曝光、显影等步骤，光刻胶经过曝光后发生聚合或分解反应，然后采用化学显影液来溶解光刻胶，利用光照反应前后的光刻胶在显影液中的溶解速度的差异，经过一定时间使易溶解区域迅速溶解完全，而不易溶解区域的胶则保留于衬底表面，从而形成光刻图形。

现有的集束式匀胶显影设备，结构复杂，且装置的工作效率低下，降低了装置的实用性能，不能很好的满足人们的使用需求，针对上述情况，在现有的集束式匀胶显影设备基础上进行技术创新。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种集束式匀胶显影设备，以解决上述背景技术中提出一般的集束式匀胶显影设备，结构复杂，且装置的工作效率低下，降低了装置的实用性能，不能很好的满足人们的使用需求问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种集束式匀胶显影设备，包括主体和喷管，所述主体的内部固定连接有显影舱，且显影舱的右侧水平安设有主泵，所述喷管位于主泵的右侧，且喷管的下方固定连接有淋头，所述淋头的下方安装有副转轮，且副转轮的前端安装有副辅轮，所述副辅轮的外壁套接有皮带，且皮带的内部活动连接有主转轮，所述主转轮的前端安装有主辅轮，且主辅轮的外壁套接有转带，所述主辅轮的内部安装有转杆，所述主转轮的右侧垂直安设有冲洗舱，且冲洗舱的内部固定连接有水箱，所述水箱的左侧水平安设有副泵，且副泵的左侧固定连接有淋管，所述淋管的下方固定连接有喷头，所述冲洗舱的右侧垂直安设有烘干舱，且烘干舱的内部垂直安设有电机，所述电机的左右两侧均固定连接有安装架，且电机的下方活动连接有转轴，所述转轴的下方固定连接有转叶。

优选的，所述主泵的右侧与喷管的左侧之间紧密贴合，且淋头呈等距状分布于喷管的下表面。

优选的，所述副辅轮的中轴线与主转轮的中轴线相重合，且副辅轮通过皮带与主转轮构成带传动。

优选的，所述水箱的外部尺寸与冲洗舱的内部尺寸相吻合，且副泵呈水平状安置于冲洗舱的上表面。

优选的，所述淋管的右侧与副泵的左侧之间紧密贴合，且喷头呈等距状分布于淋管的下表面。

优选的，所述安装架呈对称状安置于电机的左右两侧，且电机通过转轴与转叶构成旋转结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型通过的设置有显影舱、主泵、喷管和淋头之间的相互配合设置，当装置需要对印板进行显印时，使用者启动主泵，主泵通过喷管将显影舱内的显影剂通过淋头，喷至印板之上，以此对印板进行显影工作，淋头设置有多个，可使显影剂喷洒的更加均匀，提高装置的工作效率；

2.本实用新型通过的设置有副转轮、副辅轮、皮带、主转轮、主辅轮、转带和转杆之间的相互配合设置，使用者启动内部电机，内部电机带动主转轮旋转，主准轮通过皮带和转带带动相关转轮旋转，将印板送入舱内，进行一系列显影工序，该设计提高装置的进料效率，替代了传统人工手动送料，提高装置生产效率；