[实用新型]一种磁流体一体式源挡板开闭机构

权利要求书

1.一种磁流体一体式源挡板开闭机构，包括坩埚(1)、遮板(2)、轴杆(6)、联轴器(11)、气缸(10)和防着板(9)，防着板(9)位于蒸镀机内壁的底板上部，防着板(9)与底板设有间隙，防着板(9)上设有坩埚孔和装置孔，所述坩埚(1)位于间隙处且坩埚(1)的开口于坩埚孔套接，坩埚(1)的开口上方设有遮板(2)，所述遮板(2)与坩埚(1)的开口设有间隙，所述遮板(2)上部连接第一连杆(3)，第一连杆(3)通过连接件(5)可拆卸第二连杆(4)的一端，第二连杆(4)的另一端连接轴杆(6)的上部，其特征在于：所述轴杆(6)为磁流体，所述轴杆(6)的下部穿过装置孔连接联轴器(11)的上端，所述联轴器(11)的下端连接气缸(10)的气缸轴。

2.如权利要求1所述的磁流体一体式源挡板开闭机构，其特征在于：气缸(10)为旋转气缸，气缸(10)内部设有角度限位器，气缸(10)通过角度限位器进行旋转。

3.如权利要求1所述的磁流体一体式源挡板开闭机构，其特征在于：轴杆(6)外围设有一圈法兰盘(12)，法兰盘(12)与轴杆(6)套接，法兰盘(12)的一侧通过螺母或者螺栓与轴杆(6)连接。

4.如权利要求1所述的磁流体一体式源挡板开闭机构，其特征在于：法兰盘(12)的上部设有密封圈(13)，所述法兰盘(12)的上部与装置孔连接，密封圈(13)起到密封作用。

5.如权利要求1所述的磁流体一体式源挡板开闭机构，其特征在于：法兰盘(12)的下部设有多根支撑柱(14)，支撑柱(14)的一端与法兰盘(12)连接，支撑柱(14)的另一端与气缸连接，使得气缸可以与轴杆(6)连接。

6.如权利要求1所述的磁流体一体式源挡板开闭机构，其特征在于：第一连杆(3)与遮板(2)通过螺母或者螺栓可拆卸连接。

7.如权利要求1所述的磁流体一体式源挡板开闭机构，其特征在于：连接件(5)包括第一连接块(51)和第二连接块(53)，第一连接块(51)和第二连接块(53)以第二连杆(4)为中心对称设置，第一连接块(51)靠近第二连杆(4)的侧边设有第一凹槽(52)，第二连杆(4)靠近第二连接块(53)处设有第二凹槽(41)，第一连接块(51)的侧边设有以第二连杆(4)为中心对称的第一连接孔，第二连接块(53)的侧边设有以第二连杆(4)为中心对称的第二连接孔，将第二连杆(4)置于第一凹槽(52)内，第二连接块(53)置于第二凹槽(41)内，通过螺丝穿过对应的第一连接孔和第二连接孔锁死，该连接件(5)可以上下调节遮板(2)与防着板(9)的相对距离，从而适应不同的源材料的散射角度。

8.如权利要求7所述的磁流体一体式源挡板开闭机构，其特征在于：第一凹槽(52)为半圆形，第二凹槽(41)为台阶形，当轴杆(6)与第一连接块(51)和第二连接块(53)连接时，所述第二连接块(53)的底部与第二凹槽(41)的台阶处相接触连接。

9.如权利要求1所述的磁流体一体式源挡板开闭机构，其特征在于：防着板(9)与底板之间设有多根立柱(7)，立柱(7)作为防着板(9)与底板的支撑，用来保护底板上设有的部件，坩埚孔与坩埚(1)的开口位于同一水平面上。

10.如权利要求1所述的磁流体一体式源挡板开闭机构，其特征在于：坩埚(1)、遮板(2)和防着板(9)为不锈钢材质。