[实用新型]一种单晶硅片退火冷却箱

权利要求书

1.一种单晶硅片退火冷却箱，包括冷却箱本体(1)，其特征在于：冷却箱本体(1)的底部连接有多个支架(5)，冷却箱本体(1)内开设有冷却槽，所述冷却槽的内壁沿竖直中垂线对称开设有两个滑槽(2)，滑槽(2)内滑动连接有滑板(3)，两个滑板(3)之间固接有支撑板(4)，滑板(3)上设置有夹持机构，所述夹持机构用于夹持位于支撑板(4)上方的单晶硅片，冷却箱本体(1)上转动连接有用于密封的连接盖(11)；

所述冷却槽的内壁沿水平中垂线对称设置有第一冷却筒(6)和第二冷却筒(9)，第一冷却筒(6)和第二冷却筒(9)内均固接有风机(15)，风机(15)的吹风端朝向支撑板(4)，支撑板(4)上开设有透气孔(21)；

所述夹持机构包括开设于滑板(3)上的连接槽，所述连接槽内活动连接有固定块(13)，固定块(13)的底部固接有与所述连接槽连接的弹簧(12)，滑槽(2)的内顶部固接有用于压动固定块(13)的驱动块(16)，支撑板(4)的顶面开设有固定槽，所述固定槽内活动连接有连接板(14)，固定块(13)和连接板(14)之间固接有连接架(23)，两个连接板(14)相靠近的一侧均固接有夹板(17)，支撑板(4)的顶部固接有夹座(20)，所述单晶硅片位于夹板(17)和夹座(20)之间。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片退火冷却箱，其特征在于：固定块(13)的两侧均固接有第一连接块(18)，第一连接块(18)为倾斜设置、且第一连接块(18)远离固定块(13)一端的高度低于固定块(13)的高度，驱动块(16)的两侧均固接有第二连接块，所述第二连接块为倾斜设置，且所述第二连接块远离驱动块(16)一端的高度高于驱动块(16)的高度。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片退火冷却箱，其特征在于：支撑板(4)的顶面固接有两个垫块(22)，垫块(22)的高度与夹座(20)的高度相等。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片退火冷却箱，其特征在于：透气孔(21)的内壁固接有滤网(19)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片退火冷却箱，其特征在于：支撑板(4)伸出所述冷却槽的一侧固接有密封盖(8)，密封盖(8)远离支撑板(4)的一侧固接有把手(7)，连接盖(11)上开设有与密封盖(8)卡合的密封孔(10)。