[实用新型]一种单晶硅片退火冷却箱

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅片退火冷却箱，包括冷却箱本体，冷却箱本体内开设有冷却槽，冷却槽的内壁沿竖直中垂线对称开设有两个滑槽，滑槽内滑动连接有滑板，两个滑板之间固接有支撑板，滑板上设置有夹持机构，夹持机构用于夹持位于支撑板上方的单晶硅片，冷却箱本体上转动连接有用于密封的连接盖。本实用新型通过设置滑槽，滑板插入滑槽的过程中，驱动块接触并下压固定块，使得固定块下降并带动连接板、夹板下降，达到快速夹持硅片的效果，此时通过风机对硅片的两侧进行冷却，达到便于工作的效果，通过设置弹簧，冷却后将支撑板滑出，此时驱动块与固定块分离，弹簧的弹力会将固定块顶出，从而使得夹板远离硅片，达到快速拆卸的效果。

技术领域

本实用新型属于单晶硅片退火技术领域，尤其涉及一种单晶硅片退火冷却箱。

背景技术

硅片中含有氧，氧有吸取杂质的作用。退火时可以将硅片表面附近的氧，从其表面挥发脱除，使表面附近的杂质数量减少。有利于器件的制造。

现有的技术存在以下问题：在对硅片冷却时，安装固定硅片时的步骤较为繁琐，增加了工作时间，不利于硅片的冷却。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片退火冷却箱，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片退火冷却箱，包括冷却箱本体，冷却箱本体的底部连接有多个支架，冷却箱本体内开设有冷却槽，所述冷却槽的内壁沿竖直中垂线对称开设有两个滑槽，滑槽内滑动连接有滑板，两个滑板之间固接有支撑板，滑板上设置有夹持机构，所述夹持机构用于夹持位于支撑板上方的单晶硅片，冷却箱本体上转动连接有用于密封的连接盖。

所述冷却槽的内壁沿水平中垂线对称设置有第一冷却筒和第二冷却筒，第一冷却筒和第二冷却筒内均固接有风机，风机的吹风端朝向支撑板，支撑板上开设有透气孔。

所述夹持机构包括开设于滑板上的连接槽，所述连接槽内活动连接有固定块，固定块的底部固接有与所述连接槽连接的弹簧，滑槽的内顶部固接有用于压动固定块的驱动块，支撑板的顶面开设有固定槽，所述固定槽内活动连接有连接板，固定块和连接板之间固接有连接架，两个连接板相靠近的一侧均固接有夹板，支撑板的顶部固接有夹座，所述单晶硅片位于夹板和夹座之间。

在一个优选地实施方式中，固定块的两侧均固接有第一连接块，第一连接块为倾斜设置、且第一连接块远离固定块一端的高度低于固定块的高度，驱动块的两侧均固接有第二连接块，所述第二连接块为倾斜设置，且所述第二连接块远离驱动块一端的高度高于驱动块的高度。

在一个优选地实施方式中，支撑板的顶面固接有两个垫块，垫块的高度与夹座的高度相等。

在一个优选地实施方式中，透气孔的内壁固接有滤网。

在一个优选地实施方式中，支撑板伸出所述冷却槽的一侧固接有密封盖，密封盖远离支撑板的一侧固接有把手，连接盖上开设有与密封盖卡合的密封孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置滑槽，滑板插入滑槽的过程中，驱动块接触并下压固定块，使得固定块下降并带动连接板、夹板下降，达到快速夹持硅片的效果，此时通过风机对硅片的两侧进行冷却，达到便于工作的效果；

本实用新型通过设置弹簧，冷却后将支撑板滑出，此时驱动块与固定块分离，弹簧的弹力会将固定块顶出，从而使得夹板远离硅片，达到快速拆卸的效果。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型整体的结构侧视剖切；