[实用新型]一种新型真空蒸镀机的伞架行星转结构

权利要求书

1.一种新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，包括：固定件(1)、中空板(2)、侧连接件(3)、和圆轨道(4)，所述固定件(1)与真空蒸镀机的腔室上方的旋转驱动件连接，固定件(1)与中空板(2)固定，圆轨道(4)位于中空板(2)的正下方，圆轨道(4)的直径大于中空板(2)的直径，侧连接件(3)与中空板(2)和圆轨道(4)连接，圆轨道(4)与真空蒸镀机的腔室的面板固定，其特征在于，固定件(1)包括中空圆柱部(11)和L型杆(12)，侧连接件(3)包括：固定条(31)、中空连接轴(32)和圆盘件(33)，固定条(31)与中空连接轴(32)垂直固定，中空连接轴(32)与圆盘件(33)连接，固定条(31)与中空板(2)固定，圆盘件(33)与圆轨道(4)连接，伞架的连接杆穿过中空连接轴(32)并连接，真空蒸镀机的腔室上方的旋转驱动件旋转时，带动固定件(1)旋转，固定件(1)带动中空板(2)、固定条(31)和中空连接轴(32)旋转，中空连接轴(32)带动圆盘件(33)和伞架沿着圆轨道(4)进行公转旋转，并且带动圆盘件(33)和伞架进行自转旋转。

2.如权利要求1所述的新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，其特征在于，中空圆柱部(11)与真空蒸镀机的腔室上方的旋转驱动件连接固定，L型杆(12)一端与中空圆柱部(11)固定，另一端与中空板(2)固定。

3.如权利要求2所述的新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，其特征在于，L型杆(12)有一个或者多个。

4.如权利要求1所述的新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，其特征在于，中空板(2)为中空圆形板，中空板(2)和圆轨道(4)均水平设置，圆轨道(4)的直径大于中空板(2)的直径，使得侧连接件(3)的固定条(31)为倾斜的，固定条(31)与垂直线的夹角为30-60°，圆轨道(4)包括第一凹槽(41)，侧连接件(3)的圆盘件(33)接触第一凹槽(41)，圆盘件(33)沿着第一凹槽(41)旋转。

5.如权利要求4所述的新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，其特征在于，圆轨道(4)与真空蒸镀机的腔室的上方面板、侧面面板、或者底面面板固定。

6.如权利要求1所述的新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，其特征在于，侧连接件(3)有3个，侧连接件(3)还包括：中空圆柱轴(34)和螺母(35)，中空连接轴(32)通过螺丝与固定条(31)固定，中空连接轴(32)套设在中空圆柱轴(34)外，并且中空连接轴(32)与中空圆柱轴(34)中间的凸起部分固定，圆盘件(33)套设在中空连接轴(32)外，中空圆柱轴(34)的顶端部分为螺纹，螺母(35)与中空圆柱轴(34)的顶端螺纹连接固定，将圆盘件(33)与中空圆柱轴(34)连接，并且圆盘件(33)沿着圆轨道(4)的第一凹槽(41)公转旋转的同时也进行自转旋转。

7.如权利要求6所述的新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，其特征在于，圆盘件(33)的中间与中空连接轴(32)连接，圆盘件(33)的为圆形中空，供中空圆柱轴(34)的顶端穿过，圆盘件(33)的边沿为极薄的薄片。

8.如权利要求7所述的新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，其特征在于，伞架(6)包括伞架基架(61)和连接杆(62)，伞架基架(61)用于固定被镀膜工件，连接杆(62)穿过中空圆柱轴(34)，通过双保险连接结构(7)与中空圆柱轴(34)连接。

9.如权利要求8所述的新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，其特征在于，连接杆(62)固定在伞架基架(61)的中心的顶端，连接杆(62)的上部具有第二凹槽(621)和水平通孔(622)，水平通孔(622)位于第二凹槽(621)的上方。

10.如权利要求9所述的新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，其特征在于，双保险连接结构(7)包括：卡件(71)和保险销(72)，卡件(71)卡入连接杆(62)的第二凹槽(621)内，使得卡件(71)与连接杆(62)固定，为双保险连接结构(7)的第一道保险，保险销(72)插入水平通孔(622)内，将保险销(72)与连接杆(62)固定，为双保险连接结构(7)的第二道保险。