[实用新型]一种新型真空蒸镀机的伞架行星转结构

说明书

本申请提供一种新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，包括：固定件、中空板、侧连接件、和圆轨道，所述固定件与真空蒸镀机的腔室上方的旋转驱动件连接，固定件与中空板固定，侧连接件与中空板和圆轨道连接，圆轨道与真空蒸镀机的腔室的面板固定，固定件包括中空圆柱部和L型杆，侧连接件包括：固定条、中空连接轴和圆盘件，固定条与中空连接轴垂直固定，中空连接轴与圆盘件连接，固定条与中空板固定，圆盘件与圆轨道连接，伞架的连接杆穿过中空连接轴并连接，旋转驱动件旋转时，带动固定件旋转，固定件带动中空板、固定条和中空连接轴旋转，中空连接轴带动圆盘件和伞架沿着圆轨道进行公转旋转，并且带动圆盘件和伞架进行自转旋转。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种新型真空蒸镀机的伞架行星转结构。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

在真空蒸镀的加工工艺中，一般包括蒸镀源以及设置在蒸镀源上方用来承载被镀膜工件的伞状治具，伞状治具固定被镀膜工件，为了镀膜的均匀性，一般在蒸镀的过程中伞状治具会进行旋转，但是，由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度高于边上的浓度，导致蒸镀源正对的伞架中间层圈的被镀膜工件上的膜层较厚，而伞架边沿圈的被镀膜工件的膜层较薄，因此通常真空蒸镀机在伞架与蒸镀源之间还会设置镀膜修正板，镀膜修正板为两个水平设置的柳叶形薄板，遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，打乱蒸发物的运行轨迹，从而使蒸发物浓度更均匀。但是，镀膜修正板的作用有限，蒸发物浓度不一定均匀，并且紊乱不可控。

为了解决上述问题，现有技术出现一种可以自转公转的伞架连接结构，伞架安装在镀膜机腔内部上方，伞架有3个，根据行星自转和公转的运动规律使治具盘在镀膜机腔内实现独立自转并整体公转的效果，可以达到镀膜时产品表面的保护膜层均匀沉积的目的，且不仅镀膜产品的主体部分可均匀镀膜，镀膜产品的边缘及棱角亦可达到最佳的镀膜效果，实现整体镀膜的均匀性。

但是，由于它是通过公转中轴直接与中空板连接，因此必须同时安装三个伞架进行生产，当生产时仅适用一个或者二个伞架时，由于轨道上回转的不平衡的原因，会产生转动或者回转时，中空板会相对于公转中轴发生倾斜，伞架旋转不平稳；并且，公转系统中，通过滑轮沿着圆轨道的凹槽旋转，摩擦系数大，公转不流畅。此外，伞架与自转系统的连接方式复杂，不方便安装与拆卸。

有鉴于此，本实用新型提供一种新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，能够任意旋转伞架的安装个数并且旋转平稳，公转摩擦系数小，公转流畅，并且伞架与自转系统的连接件结构简单又安全性高，方便安装与拆卸。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，能够任意旋转伞架的安装个数并且旋转平稳，公转摩擦系数小，公转流畅，并且伞架与自转系统的连接件结构简单又安全性高，方便安装与拆卸。

本申请的新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，不再是由转轴(与电机等旋转驱动件连接的部件)与中空板通过中空部连接，而是通过固定件1的中空圆柱部11与电机的转轴固定连接，再由L型杆12与中空板2连接，不再存在现有技术的转轴与中空部的缝隙，提高了当伞架不对称时的旋转稳定性。并且，改进了侧连接件3的整体结构，圆盘件33的边沿为极薄的薄片，特别是圆盘件33沿着圆轨道4的第一凹槽41公转旋转的同时自身进行自转旋转，极大的减少了摩擦系数。此外，通过双保险连接结构7与中空圆柱轴34，连接卡件71和保险销72，卡件71卡入连接杆62的第二凹槽621内，使得卡件71与连接杆62固定，为双保险连接结构7的第一道保险，保险销72插入水平通孔622内，将保险销72与连接杆62固定，为双保险连接结构7的第二道保险，结构简单并且安全性高。