[实用新型]一种用于晶圆的清洗机构

权利要求书

1.一种用于晶圆的清洗机构，包括：设备壳体(1)，所述设备壳体(1)内设有工作平台(2)，工作平台(2)将设备壳体(1)分隔为设备腔和清洗腔，所述清洗腔内的工作平台(2)上设有若干清洗槽(3)，其特征在于：所述清洗槽(3)通过清洗固定支架(9)安装在设备壳体(1)上，所述清洗腔后端的设备壳体(1)上设有热风烘干装置(6)，所述热风烘干装置(6)通过管道连接于热风机，所述热风机与热风烘干装置(6)之间设有气体过滤装置(10)，所述热风烘干装置(6)包括热风输送箱体(61)，所述热风输送箱体(61)上端设有热风输入管(64)，所述热风输入管(64)通过管道连接于热风机，所述热风输送箱体(61)下端设有热风排出箱体(62)，所述热风排出箱体(62)靠近清洗槽(3)的一侧上设有烘干出风口，所述烘干出风口上设有防护栅格板(63)，所述防护栅格板(63)通过固定螺栓安装在设备壳体(1)上，所述清洗腔顶部的设备壳体(1)上设有照明设备(4)，所述设备壳体(1)底部设有行走轮(7)，所述行走轮(7)一侧的设备壳体(1)上设有升降支撑垫脚(8)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的清洗机构，其特征在于：所述清洗槽(3)包括清洗槽本体(31)，所述清洗槽本体(31)内设有清洗提篮(32)，所述清洗槽本体(31)内壁上设有若干支撑固定板(33)，所述支撑固定板(33)上设有若干支撑固定卡槽，所述清洗槽本体(31)通过清洗槽支架(34)安装在清洗固定支架(9)上。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于晶圆的清洗机构，其特征在于：所述气体过滤装置(10)包括过滤罐本体(101)，所述过滤罐本体(101)一端设有进气口(102)、另一端上设有出气口(103)，所述过滤罐本体(101)一侧设有活性炭注入口(107)，过滤罐本体(101)另一侧设有两个活性炭更换排出口(109)，所述活性炭注入口(107)与两个活性炭更换排出口(109)之间通过内金属网(1011)、外金属网(1012)分为左侧过滤面、右侧过滤面，所述左侧过滤面、右侧过滤面倾斜设置，左侧过滤面、右侧过滤面内填充有活性炭层(1013)。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆的清洗机构，其特征在于：所述活性炭注入口(107)上设有注入口密封板(108)，活性炭更换排出口(109)上设有排出口密封板(1010)，进气口(102)、出气口(103)上设有过滤罐连接法兰(106)。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆的清洗机构，其特征在于：所述过滤罐本体(101)的进气口(102)内设有初级滤网(105)，初级滤网(105)可拆卸的安装在滤网支架(104)上，滤网支架(104)焊接固定在过滤罐本体(101)上。