[实用新型]一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构

权利要求书

1.一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，从上到下包括：气缸(1)、连轴器(2)、第二中空套筒(4)、电极固定件(5)、探头晶振片固定件(6)、和盖帽(7)，所述连轴器(2)的上部与气缸(1)的气缸轴(11)固定，连轴器(2)的下部与第一杆体(8)固定，连轴器(2)的外面套设有第一中空套筒(3)，第一中空套筒(3)的上端与气缸(1)的壳体(12)固定，第一中空套筒(3)的下端与第二中空套筒(4)的上端固定，电极固定件(5)与第二中空套筒(4)的下端固定，两个电极固定在电极固定件(5)内，探头晶振片固定件(6)与第一杆体(8)的下部连接固定，6个探头和6个晶振片均匀分布并固定在探头晶振片固定件(6)内，盖帽(7)套设在探头晶振片固定件(6)的外面、并且与电极固定件(5)连接固定，盖帽(7)的底部具有一个第一通孔(71)，气缸(1)每次旋转60°，带动连轴器(2)、第一杆体(8)和探头晶振片固定件(6)同步旋转60°，使得更换一个探头和晶振片与盖帽(7)的第一通孔(71)位置对应。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，气缸(1)的壳体(12)上还设置有气管连接口(13)，气管连接口(13)由上气管连接口(131)和下气管连接口(132)组成，上气管连接口(131)连接进气管，下气管连接口(132)连接出气管。

3.如权利要求1所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，连轴器(2)包括上固定部(21)、中空中部(22)和下固定部(23)，上固定部(21)与气缸轴(11)的下部固定，下固定部(23)与第一杆体(8)的上部固定，气缸轴(11)的底面与第一杆体(8)的上表面之间具有间距。

4.如权利要求3所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，上固定部(21)具有第一螺孔(211)，第一螺孔(211)有两个，通过螺钉穿过第一螺孔(211)将上固定部(21)与气缸轴(11)的下部固定，下固定部(23)具有第二螺孔(231)，第二螺孔(231)有两个，通过螺钉穿过第二螺孔(231)将下固定部(23)与第一杆体(8)的上部固定。

5.如权利要求1所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，第二中空套筒(4)从上到下包括中空圆环部(41)和中空圆柱部(42)，第一杆体(8)穿过第二中空套筒(4)的内部，中空圆柱部(42)的下表面与电极固定件(5)通过螺丝固定。

6.如权利要求5所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，第二中空套筒(4)还包括套设在中空圆柱部(42)外的中空环套(43)，中空环套(43)的上部与中空圆环部(41)固定，中空环套(43)的下部与真空蒸镀机的腔体的上面板固定。

7.如权利要求1所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，电极固定件(5)的中心为中空的，第一杆体(8)穿过电极固定件(5)的内部，两个电极固定在电极固定件(5)内部。

8.如权利要求7所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，电极固定件(5)的外部具有小凸起(51)，小凸起(51)有4个，4个小凸起(51)均匀分布，盖帽(7)的上边沿还具有4个卡孔(72)，卡孔(72)的位置与小凸起(51)的位置对应，卡孔(72)为L型卡孔，将小凸起(51)卡入卡孔(72)的水平部将电极固定件(5)与盖帽(7)连接固定，旋转盖帽(7)使小凸起(51)不卡入卡孔(72)的水平部，能够将盖帽(7)取下。

9.如权利要求1所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，探头晶振片固定件(6)由上部(61)和下部(62)组成，上部(61)与下部(62)固定，上部(61)和下部(62)均具有6个通孔，6个通孔用于固定6个探头(63)和6个晶振片(64)，一个通孔内固定一个探头(63)和一个晶振片(64)。

10.如权利要求9所述的真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，下部(62)具有6个沉孔(621)，一个沉孔(621)内放置一个晶振片(64)，下部(62)的中部具有中空圆柱凸出部(622)，中空圆柱凸出部(622)的上端具有一凹陷部(623)，通过凹陷部(623)与第一杆体(8)的底端的凸起部(81)卡合，上部(61)具有6个第三通孔(611)，6个第三通孔(611)的位置与6个沉孔(621)的位置对应，一个第三通孔(611)内固定有一个探头(63)，上部(61)的中部具有第四通孔(612)，下部(62)的中空圆柱凸出部(622)穿过第四通孔(612)。