[实用新型]一种掩膜版自动传输装置有效
| 申请号： | 202023309924.X | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN215478248U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 周杰;张琪;李俊毅;符友银 | 申请（专利权）人： | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 乐俊 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经开区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 自动 传输 装置 | ||
1.一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板(1)，其特征在于，两个端板(1)之间分别通过限位杆(2)和螺杆(4)连接，限位杆(2)上滑动套接有滑座(3)，滑座(3)与螺杆(4)螺纹连接，螺杆(4)的端部与安装在端板(1)上的驱动电机输出端连接，滑座(3)的端部连接有安装板(5)，安装板(5)远离滑座(3)的一侧设有两个平行设置的安装杆(8)，两个安装杆(8)由设在安装板(5)上的驱动装置驱动，实现间距调节，安装杆(8)上安装有对称分布的电动吸盘(9)。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版自动传输装置，其特征在于，所述驱动装置包括安装在安装板(5)上的伺服电机，伺服电机输出端连接有驱动齿轮(6)，驱动齿轮(6)的两侧均啮合有齿条(7)，两个齿条(7)的端部分别与两个安装杆(8)一一对应连接，安装板(5)上安装有限位部件，齿条(7)滑动连接在限位部件中。
3.根据权利要求2所述的一种掩膜版自动传输装置，其特征在于，所述限位部件包括安装在安装板(5)上的限位座(10)，限位座(10)上开设有与齿条(7)相对应的滑口，滑口的内壁转动连接有与齿条(7)啮合的限位齿轮(11)。
4.根据权利要求3所述的一种掩膜版自动传输装置，其特征在于，所述齿条(7)远离限位齿轮(11)的一侧设有多组滚柱(12)，滚柱(12)滚动连接在滑口的侧壁。
5.根据权利要求4所述的一种掩膜版自动传输装置，其特征在于，所述滑座(3)与限位杆(2)的连接处设有直线轴承。
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