[实用新型]一种掩膜版自动传输装置

说明书

本实用新型公开了一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板，两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接，限位杆上滑动套接有滑座，滑座与螺杆螺纹连接，螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接，滑座的端部连接有安装板，安装板远离滑座的一侧设有两个平行设置的安装杆。本实用新型结构简单，根据掩膜版的尺寸大小，驱动齿轮带动两个齿条相互远离或靠近，从而实现两个安装杆间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性，然后利用电动吸盘吸附掩膜版，实现灵活抓取，并在驱动电机的驱动下，螺杆带动滑座和连接在其上的安装板移动，实现掩膜版的传递，便于掩膜版位置切换。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版技术领域，尤其涉及一种掩膜版自动传输装置。

背景技术

光刻掩膜版是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。

待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得，常用加工设备为直写式光刻设备，如激光直写光刻机、电子束光刻机等。

掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如集成电路、平板显示器、印刷电路板、微机电系统等；在实际生产过程中，掩膜版的大小不一，因此一台可以灵活调节的抓取装置实现掩膜版的抓取与转运。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种掩膜版自动传输装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板，两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接，限位杆上滑动套接有滑座，滑座与螺杆螺纹连接，螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接，滑座的端部连接有安装板，安装板远离滑座的一侧设有两个平行设置的安装杆，两个安装杆由设在安装板上的驱动装置驱动，实现间距调节，安装杆上安装有对称分布的电动吸盘。

优选地，所述驱动装置包括安装在安装板上的伺服电机，伺服电机输出端连接有驱动齿轮，驱动齿轮的两侧均啮合有齿条，两个齿条的端部分别与两个安装杆一一对应连接，安装板上安装有限位部件，齿条滑动连接在限位部件中。

优选地，所述限位部件包括安装在安装板上的限位座，限位座上开设有与齿条相对应的滑口，滑口的内壁转动连接有与齿条啮合的限位齿轮。

优选地，所述齿条远离限位齿轮的一侧设有多组滚柱，滚柱滚动连接在滑口的侧壁。

优选地，所述滑座与限位杆的连接处设有直线轴承。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，根据掩膜版的尺寸大小，驱动齿轮带动两个齿条相互远离或靠近，从而实现两个安装杆间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性，然后利用电动吸盘吸附掩膜版，实现灵活抓取，并在驱动电机的驱动下，螺杆带动滑座和连接在其上的安装板移动，实现掩膜版的传递，便于掩膜版位置切换。

附图说明

图1为本实用新型提出的结构示意图；

图2为图1中A部分结构示意图。

图中：端板1、限位杆2、滑座3、螺杆4、安装板5、驱动齿轮6、齿条7、安装杆8、电动吸盘9、限位座10、限位齿轮11、滚柱12。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。