[实用新型]一种晶圆存放箱有效
| 申请号： | 202023311654.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214421045U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B65D25/02 | 分类号： | B65D25/02;B65D25/04;B65D25/52;B65D77/24;B65D85/86;B65D25/20 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 存放 | ||
1.一种晶圆存放箱，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内腔通过隔板(2)设置有存放腔(3)，所述存放腔(3)的侧壁铰接有开关门(4)，所述箱体(1)的侧壁开设有装配槽(5)，所述装配槽(5)内滑动连接有真空笔放置架(6)，所述真空笔放置架(6)的内腔装配有与装配槽(5)相卡接的定位机构(7)，所述真空笔放置架(6)内开设有卡槽(8)，所述卡槽(8)内卡接有真空笔(9)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆存放箱，其特征在于：所述定位机构(7)包括开设在真空笔放置架(6)内的安装腔(71)，所述安装腔(71)内装配有安装板(72)，所述安装板(72)与安装腔(71)之间固定安装有弹簧(73)，所述安装板(72)的侧壁固定安装有贯穿真空笔放置架(6)的定位杆(75)，所述定位杆(75)插接至定位插槽(74)内，所述定位插槽(74)开设在装配槽(5)的内腔侧壁。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆存放箱，其特征在于：所述真空笔(9)包括笔体(91)，所述笔体(91)的顶部固定安装有与笔体(91)内腔相连通的卡接管(92)，所述笔体(91)的底部通过连接管(93)固定连接有吸盘(94)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆存放箱，其特征在于：所述开关门(4)的前侧壁固定安装有标记槽(10)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆存放箱，其特征在于：所述开关门(4)的前侧壁固定安装有把手架(11)。
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