[实用新型]一种晶圆存放箱

说明书

本实用新型公开了一种晶圆存放箱，包括箱体，箱体的内腔通过隔板设置有存放腔，存放腔的侧壁铰接有开关门，箱体的侧壁开设有装配槽，装配槽内滑动连接有真空笔放置架，真空笔放置架的内腔装配有与装配槽相卡接的定位机构，真空笔放置架内开设有卡槽，卡槽内卡接有真空笔。通过存放腔内的存放架可以同时存放多片晶圆，在箱体的侧壁卡接有真空笔放置架，通过真空笔放置架内的真空笔可以用于对存放腔内晶圆的拿取，真空笔放置架可以通过定位机构进行位置的调节，通过真空笔对晶圆进行拿取更加方便，减少人为造成的晶圆磨损。

技术领域

本实用新型涉及晶圆存放技术领域，具体为一种晶圆存放箱。

背景技术

目前市面上流通的晶圆存放盒主要有晶舟盒(方盒插片盒)、单片盒和晶片平放运输盒(蛋糕盒)三种。其中，晶舟盒(方盒插片盒)为插片式存放，片与片之间仅有几毫米的间隙，取放不便且不适用于大尺寸晶圆；单片盒造价昂贵，且尺寸越大成本越高；晶片平放运输盒(蛋糕盒)为平放式，晶圆与晶圆之间靠垫片相隔，容易磨损，且单片不易取出。为此，我们提出一种晶圆存放箱。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆存放箱，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆存放箱，包括箱体，所述箱体的内腔通过隔板设置有存放腔，所述存放腔的侧壁铰接有开关门，所述箱体的侧壁开设有装配槽，所述装配槽内滑动连接有真空笔放置架，所述真空笔放置架的内腔装配有与装配槽相卡接的定位机构，所述真空笔放置架内开设有卡槽，所述卡槽内卡接有真空笔。

优选的，所述定位机构包括开设在真空笔放置架内的安装腔，所述安装腔内装配有安装板，所述安装板与安装腔之间固定安装有弹簧，所述安装板的侧壁固定安装有贯穿真空笔放置架的定位杆，所述定位杆插接至定位插槽内，所述定位插槽开设在装配槽的内腔侧壁。

优选的，所述真空笔包括笔体，所述笔体的顶部固定安装有与笔体内腔相连通的卡接管，所述笔体的底部通过连接管固定连接有吸盘。

优选的，所述开关门的前侧壁固定安装有标记槽。

优选的，所述开关门的前侧壁固定安装有把手架。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种晶圆存放箱，通过隔板将箱体内分为不同的存放腔，通过存放腔内的存放架可以同时存放多片晶圆，在箱体的侧壁卡接有真空笔放置架，通过真空笔放置架内的真空笔可以用于对存放腔内晶圆的拿取，真空笔放置架可以通过定位机构进行位置的调节，通过真空笔对晶圆进行拿取更加方便，减少人为造成的晶圆磨损。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的俯视图。

图中：1、箱体，2、隔板，3、存放腔，4、开关门，5、装配槽，6、真空笔放置架，7、定位机构，71、安装腔，72、安装板，73、弹簧，74、定位插槽，75、定位杆，8、卡槽，9、真空笔，91、笔体，92、卡接管，83、连接管，94、吸盘，10、标记槽，11、把手架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1和图2，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆存放箱，包括箱体1，箱体1的内腔通过隔板2设置有存放腔3，存放腔3内装配有晶圆放置架用于对晶圆的放置，存放腔3的侧壁铰接有开关门4，通过隔板2设置多个存放腔3方便对不同的晶圆进行分类存放，开关门4的前侧壁固定安装有标记槽10，标记槽10用于对存放腔3内对应所放置的晶圆进行标记，开关门4的前侧壁固定安装有把手架11，把手架11方便对开关门4进行开关。