[实用新型]吸附连杆机构有效
申请号: | 202023313408.4 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214477365U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 杨洲 | 申请(专利权)人: | 苏州日川精密仪器有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙) 32364 | 代理人: | 朱亮 |
地址: | 215000 江苏省苏州市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吸附 连杆机构 | ||
1.吸附连杆机构,包括第一挡板(1)和第二挡板(2),其特征在于:所述第一挡板(1)和第二挡板(2)之间共同固定连接有限位块(3)和支撑板(4),所述限位块(3)内底部开设有定位槽(5),所述定位槽(5)内部设置有机械臂(6),所述机械臂(6)外侧壁底部中心处转动连接有气缸(7),所述支撑板(4)顶部固定连接有若干个弹簧(8),若干个所述弹簧(8)顶部共同固定连接有放置板(9),所述放置板(9)顶部开设有安装槽(10),所述安装槽(10)内部设置有缓冲层(11),所述放置板(9)两端均固定连接有滑片(12)。
2.根据权利要求1所述的吸附连杆机构,其特征在于:所述机械臂(6)顶部外侧壁与定位槽(5)内侧壁光滑贴合,所述机械臂(6)外侧壁顶部中心处与定位槽(5)内侧壁中心处转动连接。
3.根据权利要求1所述的吸附连杆机构,其特征在于:两个所述滑片(12)分别与第一挡板(1)和第二挡板(2)滑动连接。
4.根据权利要求1所述的吸附连杆机构,其特征在于:所述缓冲层(11)包括与安装槽(10)内底部固定连接的橡胶颗粒(111),所述橡胶颗粒(111)设置有多个且均匀分布在安装槽(10)内底部,所述橡胶颗粒(111)顶部固定连接有橡胶板(112),所述橡胶板(112)顶部固定连接有缓冲囊(113)。
5.根据权利要求4所述的吸附连杆机构,其特征在于:所述缓冲囊(113)为橡胶材质且内部充有氮气,所述缓冲囊(113)侧壁与安装槽(10)内侧壁固定连接。
6.根据权利要求4所述的吸附连杆机构,其特征在于:所述橡胶板(112)外侧壁与安装槽(10)内侧壁固定连接,所述橡胶板(112)的厚度不低于8mm。
7.根据权利要求4所述的吸附连杆机构,其特征在于:所述机械臂(6)中部设置有吸附连杆。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造