[实用新型]吸附连杆机构

说明书

本实用新型公开了吸附连杆机构，包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和第二挡板之间共同固定连接有限位块和支撑板，所述限位块内底部开设有定位槽，所述定位槽内部设置有机械臂，所述机械臂外侧壁底部中心处转动连接有气缸，所述支撑板顶部固定连接有若干个弹簧，若干个所述弹簧顶部共同固定连接有放置板，所述放置板顶部开设有安装槽，所述安装槽内部设置有缓冲层，所述放置板两端均固定连接有滑片。本实用新型吸附连杆机构设置有机械臂和气缸，该装置中机械臂通过气缸驱动，来对其的结构进行改变，从而扩大了机械臂的使用行程范围，降低了机械臂的局限性，便于用户更好的使用。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工辅助设备技术领域，尤其涉及吸附连杆机构。

背景技术

20世纪中叶，单晶硅和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研制成功，导致了电子工业革命；20世纪70年代初石英光导纤维材料和GaAs激光器的发明，促进了光纤通信技术迅速发展并逐步形成了高新技术产业，使人类进入了信息时代。超晶格概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的研制成功，彻底改变了光电器件的设计思想。

目前在生产半导体的过程中，需要经历若干个加工步骤，在半导体后道设备中，吸附连杆机构发挥着重要的作用，但是现有的吸附连杆机构结构单一，功能不完善，稳定性较差，同时机械臂不易调节，使用的局限性较大。并且当运输半导体工件时，机械臂受到碰撞，产生振动容易使半导体元件掉落，导致半导体元件的报废，降低了半导体的生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的吸附连杆机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：吸附连杆机构，包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和第二挡板之间共同固定连接有限位块和支撑板，所述限位块内底部开设有定位槽，所述定位槽内部设置有机械臂，所述机械臂外侧壁底部中心处转动连接有气缸，所述支撑板顶部固定连接有若干个弹簧，若干个所述弹簧顶部共同固定连接有放置板，所述放置板顶部开设有安装槽，所述安装槽内部设置有缓冲层，所述放置板两端均固定连接有滑片。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述机械臂顶部外侧壁与定位槽内侧壁光滑贴合，所述机械臂外侧壁顶部中心处与定位槽内侧壁中心处转动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

两个所述滑片分别与第一挡板和第二挡板滑动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述缓冲层包括与安装槽内底部固定连接的橡胶颗粒，所述橡胶颗粒设置有多个且均匀分布在安装槽内底部，所述橡胶颗粒顶部固定连接有橡胶板，所述橡胶板顶部固定连接有缓冲囊。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述缓冲囊为橡胶材质且内部充有氮气，所述缓冲囊侧壁与安装槽内侧壁固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述橡胶板外侧壁与安装槽内侧壁固定连接，所述橡胶板的厚度不低于8mm。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述机械臂中部设置有吸附连杆。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型吸附连杆机构设置有机械臂和气缸，该装置中机械臂通过气缸驱动，来对其的结构进行改变，从而扩大了机械臂的使用行程范围，降低了机械臂的局限性，便于用户更好的使用。