[实用新型]一种飞秒激光加工系统有效
| 申请号： | 202023317586.4 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214518289U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陆昱成;贾建成 | 申请（专利权）人： | 苏州科韵激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/06;B23K26/402 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 系统 | ||
1.一种飞秒激光加工系统，其特征在于，包括：
飞秒激光模块，用于出射第一飞秒激光光束，所述第一飞秒激光光束具有第一功率；
位于所述第一飞秒激光光束传播路径上的扩束模块，所述扩束模块用于对所述第一飞秒激光光束进行光束扩束和准直，形成第二飞秒激光光束；
位于所述第二飞秒激光光束传播路径上的衰减模块，所述衰减模块包括衰减片，所述衰减片用于对所述第二飞秒激光光束进行功率衰减，以形成第三飞秒激光光束，所述第三飞秒激光光束具有第二功率；所述第二功率小于所述第一功率；
位于所述第三飞秒激光光束传播路径上的加工切割头，所述加工切割头用于聚焦所述第三飞秒激光光束并对待加工材料打孔，以在所述待加工材料上形成过孔。
2.根据权利要求1所述的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述衰减模块还包括1/2波片和1/4波片；所述1/2波片和所述1/4波片依次位于所述第二飞秒激光光束的传播路径上；
所述1/2波片和1/4波片用于调整所述第二飞秒激光光束的偏振方向形成所述第三飞秒激光光束。
3.根据权利要求2所述的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述第三飞秒激光光束为圆偏振光。
4.根据权利要求1所述的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述飞秒激光加工系统还包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜；
所述第一反射镜位于所述第一飞秒激光光束的传播路径上，用于反射所述第一飞秒激光光束至所述扩束模块；
所述第二反射镜位于所述第二飞秒激光光束的传播路径上，用于反射所述第二飞秒激光光束进入所述衰减模块；
所述第三反射镜位于所述第三飞秒激光光束的传播路径上，用于反射所述第三飞秒激光光束进入所述加工切割头。
5.根据权利要求1所述的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述第一功率P1满足1W≤P1≤5W；
所述第二功率P2满足0＜P2≤P1/10。
6.根据权利要求1所述的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述飞秒激光加工系统还包括载物台，所述载物台用于承载所述待加工材料。
7.根据权利要求6所述的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述飞秒激光加工系统还包括冷却模块；
所述冷却模块位于所述载物台远离所述待加工材料的一侧，用于对所述待加工材料进行降温。
8.根据权利要求6所述的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述飞秒激光加工系统还包括碎屑吸附装置；
所述碎屑吸附装置位于所述载物台远离所述待加工材料的一侧，用于吸附所述待加工材料加工过程中产生的碎屑。
9.根据权利要求1所述的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述过孔的直径d满足d≤10μm。
10.根据权利要求1所述的飞秒激光加工系统，其特征在于，所述待加工材料包括玻璃。
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