[实用新型]一种飞秒激光加工系统

说明书

本实用新型公开了一种飞秒激光加工系统，包括：飞秒激光模块，用于出射第一飞秒激光光束，第一飞秒激光光束具有第一功率；位于第一飞秒激光光束传播路径上的扩束模块，扩束模块用于对第一飞秒激光光束进行光束扩束和准直，形成第二飞秒激光光束；位于第二飞秒激光光束传播路径上的衰减模块，衰减模块包括衰减片，衰减片用于对第二飞秒激光光束进行功率衰减，以形成第三飞秒激光光束，第三飞秒激光光束具有第二功率；第二功率小于第一功率；位于第三飞秒激光光束传播路径上的加工切割头，加工切割头用于聚焦第三飞秒激光光束并对待加工材料打孔。解决了现有技术中对玻璃材料微孔加工中无法实现更小的微孔直径以及无法解决崩边较大等技术问题。

技术领域

本实用新型实施例涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种飞秒激光加工系统。

背景技术

目前玻璃在工业上应用非常广泛，针对玻璃要求更多样化；市场上针对玻璃微孔加工需求更加迫切。

传统的普通纳秒激光钻孔方法，加工微孔直径无法更小以及无法解决崩边较大等问题，已无法满足更高要求的玻璃微孔的加工需求。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种飞秒激光加工系统，以解决现有技术中对玻璃材料微孔加工中无法实现更小的微孔直径以及无法解决崩边较大等技术问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种飞秒激光加工系统，包括：

飞秒激光模块，用于出射第一飞秒激光光束，所述第一飞秒激光光束具有第一功率；

位于所述第一飞秒激光光束传播路径上的扩束模块，所述扩束模块用于对所述第一飞秒激光光束进行光束扩束和准直，形成第二飞秒激光光束；

位于所述第二飞秒激光光束传播路径上的衰减模块，所述衰减模块包括衰减片，所述衰减片用于对所述第二飞秒激光光束进行功率衰减，以形成第三飞秒激光光束，所述第三飞秒激光光束具有第二功率；所述第二功率小于所述第一功率；

位于所述第三飞秒激光光束传播路径上的加工切割头，所述加工切割头用于聚焦所述第三飞秒激光光束并对待加工材料打孔，以在所述待加工材料上形成过孔。

可选的，所述衰减模块还包括1/2波片和1/4波片；所述1/2波片和所述1/4波片依次位于所述第二飞秒激光光束的传播路径上；

所述1/2波片和1/4波片用于调整所述第二飞秒激光光束的偏振方向形成所述第三飞秒激光光束。

可选的，所述第三飞秒激光光束为圆偏振光。

可选的，所述飞秒激光加工系统还包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜；

所述第一反射镜位于所述第一飞秒激光光束的传播路径上，用于反射所述第一飞秒激光光束至所述扩束模块；

所述第二反射镜位于所述第二飞秒激光光束的传播路径上，用于反射所述第二飞秒激光光束进入所述衰减模块；

所述第三反射镜位于所述第三飞秒激光光束的传播路径上，用于反射所述第三飞秒激光光束进入所述加工切割头。

可选的，所述第一功率P1满足1W≤P1≤5W；

所述第二功率P2满足0＜P2≤P1/10。

可选的，所述飞秒激光加工系统还包括载物台，所述载物台用于承载所述待加工材料。

可选的，所述飞秒激光加工系统还包括冷却模块；

所述冷却模块位于所述载物台远离所述待加工材料的一侧，用于对所述待加工材料进行降温。

可选的，所述飞秒激光加工系统还包括碎屑吸附装置；