[实用新型]一种用于旋涂设备的定位辅助装置

权利要求书

1.一种用于旋涂设备的定位辅助装置，包括升降式旋涂操作台(1)，其特征在于：升降式旋涂操作台(1)的上表面中部设有真空吸盘(2)，且真空吸盘(2)连接外部气泵，所述升降式旋涂操作台(1)上设有保护罩(3)，所述升降式旋涂操作台(1)后侧设有安装底座(4)，且安装底座(4)前端固定装配有支撑杆(5)，所述支撑杆(5)前端固定装配有位于升降式旋涂操作台(1)上方的定位辅助装置本体(6)。

2.根据权利要求1所述的一种用于旋涂设备的定位辅助装置，其特征在于：所述定位辅助装置本体(6)包括固定装配于支撑杆(5)前端的第一定位块(61)，且第一定位块(61)前后壁上开设有第一螺纹通孔(62)，所述第一定位块(61)内环面贴合有第二定位块(63)，且第二定位块(63)前后侧壁开设有与第一螺纹通孔(62)位于一条直线上的第二螺纹通孔(64)，所受第一螺纹通孔(62)和第二螺纹通孔(64)内螺接有螺纹杆(65)。

3.根据权利要求2所述的一种用于旋涂设备的定位辅助装置，其特征在于：所述第一定位块(61)和第二定位块(63)的圆心与真空吸盘(2)的圆心重合。

4.根据权利要求2所述的一种用于旋涂设备的定位辅助装置，其特征在于：所述定位辅助装置本体(6)的高度高于保护罩(3)升起的高度。