[实用新型]机械臂运输固定架

说明书

本实用新型公开了一种机械臂运输固定架，连接于机械臂的底座上，所述底座下方设置有一机械臂部件，所述机械臂固定架包括连接在底座下方两侧的两个支撑板，支撑板高度大于所述机械臂部件的高度，所述的支撑板下方连接有与所述底座平行的底板，底板四角上设置有孔。本申请的机械臂运输固定架架空了机械臂底部的部件使机械臂能够平稳放置，并且能够承受机械臂在搬运过程的颠簸与冲击，以保护精密的运动部件。

技术领域

本实用新型涉及设备运输领域，具体而言，涉及一种机械臂运输固定架。

背景技术

半导体加工过程涉及多种工艺，每种工艺需要用到不同的设备，很多工艺都需要预先获得晶圆准确的位置状态。现有技术中，作为半导体设备的关键部位之一的晶圆传送装置是晶圆制造厂中常用的设备，用于抓取晶圆并将其传送至下一目的地，该抓取动作由晶圆传送装置的机械手臂来完成。

半导体生产线在定期维护时，或者对产线进行位置布局调整时，都需要将机械臂拆除并且搬运，由于机械臂底部设置有部件，使其底部并不平整，无法平稳放置。又由于机械臂属于精密仪器，其精密运动部件无法承受机械臂搬运过程的颠簸与冲击，因而不能以运动部件作为搬运的支撑点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种机械臂运输固定架，架空了机械臂底部的部件使机械臂能够平稳放置，并且承受机械臂在搬运过程的颠簸与冲击。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种机械臂运输固定架，连接于机械臂的底座上，所述底座下方设置有一机械臂部件，所述机械臂固定架包括连接在底座下方两侧的两个支撑板，支撑板高度大于所述机械臂部件的高度，所述的支撑板下方连接有与所述底座平行的底板，底板四角上设置有孔。

作为本实用新型的一种方案，所述的两个支撑板偏置于底板一侧，以便连上所述底座后，机械臂的重心落在所述底板的中心。

作为本实用新型的一种方案，所述底板两边各开设有一抓取孔。

作为本实用新型的一种方案，所述孔用于连接至托盘或包装箱上。

作为本实用新型的一种方案，所述孔用于连接支脚或万向轮，所述支脚或万向轮设置于所述底板下方。

作为本实用新型的一种方案，所述机械臂部件为伺服电机。

本实用新型的有益效果是：

1、本申请的机械臂运输固定架架空了机械臂底部的部件使机械臂能够平稳放置，并且能够承受机械臂在搬运过程的颠簸与冲击，以保护精密的运动部件。

2、支撑板偏置于底板一侧，以便连上所述底座后，机械臂的重心落在所述底板的中心，使搬运时不易发生倾覆，提高运输的平稳性。

3、底板四角的孔可以连接至托盘或包装箱，或者连接支脚或万向轮，底板两侧设置的抓取孔。以便机械臂运输固定架适用于包括人力、叉车、吊装、物流等不同的运输场景。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为机械臂运输固定架运输状态示意图；

图2为机械臂运输固定架结构示意图。

具体实施方式