[实用新型]一种碳化硅晶圆测试载台

权利要求书

1.一种碳化硅晶圆测试载台，包括晶圆测试台台体(1)，其特征在于：所述晶圆测试台台体(1)的上端固定连接控制座(2)、一号支撑柱(4)、二号支撑柱(5)、配电箱(7)、固定旋转底座(21)，所述晶圆测试台台体(1)的上端开设有活动槽(10)，所述控制座(2)的上端设置有控制面板(3)，所述一号支撑柱(4)与二号支撑柱(5)的上端固定有操作平台(8)，所述操作平台(8)的一端开设有一号螺母孔(6)，所述活动槽(10)的上端活动连接有滑动块(11)，所述滑动块(11)的上端活动连接有转动连接盘(13)，所述转动连接盘(13)的上端开设有二号螺母孔(14)，所述晶圆测试台台体(1)的下端固定连接有连接板(15)，所述转动连接盘(13)的外侧固定连接有放置旋转操作盘(29)，所述连接板(15)的表面开设有三号螺母孔(16)，所述连接板(15)的下端固定连接有底部伸缩支撑柱(12)，所述底部伸缩支撑柱(12)的下端活动连接有伸缩柱底座(17)，所述伸缩柱底座(17)的下端固定连接有三角固定块(18)，所述伸缩柱底座(17)的下端底面固定连接有底座脚板(19)，所述底座脚板(19)的表面开设有定位孔(20)，所述固定旋转底座(21)的表面开设有四号螺母孔(22)，所述固定旋转底座(21)的上端活动连接有活动旋杆(9)，所述活动旋杆(9)的上端固定连接有一号旋转臂(24)，所述一号旋转臂(24)的一端固定连接有一号固定螺丝(23)，所述一号旋转臂(24)的一侧活动连接有二号旋转臂(26)，所述二号旋转臂(26)的一端活动连接有活动转轴(25)，所述二号旋转臂(26)的一侧固定连接有操作头放置槽(27)、二号固定螺丝(28)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆测试载台，其特征在于：所述滑动块(11)与转动连接盘(13)的之间设置有转轴，所述滑动块(11)的上端表面通过转轴与转动连接盘(13)的下端底面固定连接，所述转动连接盘(13)的下端表面通过二号螺母孔(14)与转轴的上端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆测试载台，其特征在于：所述连接板(15)与底部伸缩支撑柱(12)的之间设置有焊接块，所述连接板(15)的下端表面通过焊接块与底部伸缩支撑柱(12)的上端表面固定连接，所述底部伸缩支撑柱(12)与伸缩柱底座(17)的之间设置有活动轴，所述底部伸缩支撑柱(12)的下端通过活动轴与伸缩柱底座(17)的内部活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆测试载台，其特征在于：所述滑动块(11)的下端通过活动槽(10)与晶圆测试台台体(1)的上端表面固定连接，所述底座脚板(19)的下端通过定位孔(20)与晶圆测试台台体(1)的上端表面固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆测试载台，其特征在于：所述操作平台(8)的一端通过一号螺母孔(6)与一号支撑柱(4)、二号支撑柱(5)的上端表面固定，所述一号支撑柱(4)、二号支撑柱(5)与晶圆测试台台体(1)的下端设置有焊条，所述一号支撑柱(4)、二号支撑柱(5)的下端表面通过焊条与晶圆测试台台体(1)的上端表面固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆测试载台，其特征在于：所述固定旋转底座(21)的下端通过四号螺母孔(22)与晶圆测试台台体(1)的上端表面固定连接，所述一号旋转臂(24)的一端通过活动转轴(25)与二号旋转臂(26)的一端活动连接。