[实用新型]一种碳化硅晶圆测试载台

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅晶圆测试载台，包括晶圆测试台台体，所述晶圆测试台台体的上端固定连接控制座、一号支撑柱、二号支撑柱、配电箱、固定旋转底座，所述晶圆测试台台体的上端开设有活动槽，所述控制座的上端设置有控制面板，所述一号支撑柱与二号支撑柱的上端固定有操作平台，所述操作平台的一端开设有一号螺母孔。本实用新型所述的一种碳化硅晶圆测试载台，设有滑动旋转放置座与伸缩固定底座，通过增加滑动旋转放置台使取用测试晶圆片更加方便，便于测试使用，通过增加伸缩固定底座，使整个操作台的高度可以人为调控，使晶圆测试载台更加灵活多变，带来更好的使用前景。

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试载台领域，特别涉及一种碳化硅晶圆测试载台。

背景技术

碳化硅晶圆测试载台是一种进行晶圆测试的支撑设备，伸缩底座便于调节操作台的作业高度，适用各种高度的操作环境，滑动旋转放置台可以方便晶圆片的放置和取用，随着科技的不断发展，人们对于碳化硅晶圆测试载台的制造工艺要求也越来越高。

现有的碳化硅晶圆测试载台在使用时存在一定的弊端，首先，固定的操作高度，不利于人们的使用，还有，固定放置台不利于晶圆片的取用和测试，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种碳化硅晶圆测试载台。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种碳化硅晶圆测试载台，具备伸缩底座便于调节操作台的作业高度，适用各种高度的操作环境，滑动旋转放置台可以方便晶圆片的放置和取用等优点，可以有效解决背景技术中的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种碳化硅晶圆测试载台，包括晶圆测试台台体，所述晶圆测试台台体的上端固定连接控制座、一号支撑柱、二号支撑柱、配电箱、固定旋转底座，所述晶圆测试台台体的上端开设有活动槽，所述控制座的上端设置有控制面板，所述一号支撑柱与二号支撑柱的上端固定有操作平台，所述操作平台的一端开设有一号螺母孔，所述活动槽的上端活动连接有滑动块，所述滑动块的上端活动连接有转动连接盘，所述转动连接盘的上端开设有二号螺母孔，所述晶圆测试台台体的下端固定连接有连接板，，所述转动连接盘的外侧固定连接有放置旋转操作盘，所述连接板的表面开设有三号螺母孔，所述连接板的下端固定连接有底部伸缩支撑柱，所述底部伸缩支撑柱的下端活动连接有伸缩柱底座，所述伸缩柱底座的下端固定连接有三角固定块，所述伸缩柱底座的下端底面固定连接有底座脚板，所述底座脚板的表面开设有定位孔，所述固定旋转底座的表面开设有四号螺母孔，所述固定旋转底座的上端活动连接有活动旋杆，所述活动旋杆的上端固定连接有一号旋转臂，所述一号旋转臂的一端固定连接有一号固定螺丝，所述一号旋转臂的一侧活动连接有二号旋转臂，所述二号旋转臂的一端活动连接有活动转轴，所述二号旋转臂的一侧固定连接有操作头放置槽、二号固定螺丝。

优选的，所述滑动块与转动连接盘的之间设置有转轴，所述滑动块的上端表面通过转轴与转动连接盘的下端底面固定连接，所述转动连接盘的下端表面通过二号螺母孔与转轴的上端固定连接。

优选的，所述连接板与底部伸缩支撑柱的之间设置有焊接块，所述连接板的下端表面通过焊接块与底部伸缩支撑柱的上端表面固定连接，所述底部伸缩支撑柱与伸缩柱底座的之间设置有活动轴，所述底部伸缩支撑柱的下端通过活动轴与伸缩柱底座的内部活动连接。

优选的，所述滑动块的下端通过活动槽与晶圆测试台台体的上端表面固定连接，所述底座脚板的下端通过定位孔与晶圆测试台台体的上端表面固定连接。

优选的，所述操作平台的一端通过一号螺母孔与一号支撑柱、二号支撑柱的上端表面固定，所述一号支撑柱、二号支撑柱与晶圆测试台台体的下端设置有焊条，所述一号支撑柱、二号支撑柱的下端表面通过焊条与晶圆测试台台体的上端表面固定连接。