[实用新型]一种扫描式靶座及脉冲激光沉积装置

权利要求书

1.一种扫描式靶座，其特征在于，包括：一个位移台、设置在所述位移台上的套筒、设置在所述套筒内的转轴、设置在所述转轴上的靶台、设置在所述位移台内的第一平移驱动装置、设置在所述位移台内的第二平移驱动装置、设置在所述位移台下一侧的支架、设置在所述位移台下的上下运动波纹管、上下运动电机、以及公转电机，所述公转电机一端固定在所述支架上，所述第一平移驱动装置和所述第二平移驱动装置垂直设置，所述公转电机与所述转轴传动连接。

2.如权利要求1所述的扫描式靶座，其特征在于，所述第一平移驱动装置为设置在所述位移台的X方向上的第一平移电机。

3.如权利要求2所述的扫描式靶座，其特征在于，所述第二平移驱动装置为设置在所述位移台的Y方向上的第二平移电机。

4.如权利要求1所述的扫描式靶座，其特征在于，所述公转电机的输出轴设置在所述上下运动波纹管内，并与所述位移台连接。

5.如权利要求1所述的扫描式靶座，其特征在于，所述靶台上均匀分布有多个用于放置靶材的放置位。

6.如权利要求5所述的扫描式靶座，其特征在于，所述上下运动电机与所述支架连接，用于控制所述靶材的上下运动。

7.如权利要求1所述的扫描式靶座，其特征在于，所述套筒上还设有一法兰。

8.如权利要求1所述的扫描式靶座，其特征在于，所述套筒内径大于所述转轴外径。

9.一种脉冲激光沉积装置，其特征在于，包括：真空腔、设置在所述真空腔内的基片、用于发射脉冲激光到所述真空腔内的激光发射装置、以及如权利要求1-8任一项所述的扫描式靶座，所述扫描式靶座的上端设置在所述真空腔内，并与所述基片对应设置，所述激光发射装置发射的激光到所述扫描式靶座上。

10.如权利要求9所述的脉冲激光沉积装置，其特征在于，所述法兰与所述真空腔的下端固定连接。