[实用新型]一种扫描电镜冷冻样品台

权利要求书

1.一种扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：包括水冷台、半导体制冷片和样品载台，所述半导体制冷片设置于所述水冷台上，所述半导体制冷片的散热面和所述水冷台表面贴合；所述样品载台设置于所述半导体制冷片上，所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面贴合。

2.如权利要求1所述的扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面之间设置有温度传感器，所述温度传感器和所述样品载台的底面贴合。

3.如权利要求1所述的扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：所述半导体制冷片为多层结构，所述半导体制冷片和所述水冷台贴合的底层面积最大，然后向上逐级减小，所述半导体制冷片的顶层和所述样品载台的尺寸相当；所述半导体制冷片的层间，下一层的致冷面和上一层的散热面贴合。

4.如权利要求1所述的扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：所述水冷台为采用乙二醇为水冷介质的水冷台。

5.如权利要求1所述的扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：所述冷冻样品台还包括水冷台座，所述水冷台的底面和侧面被包裹在所述水冷台座内，所述水冷台座内设置有保温材料。

6.如权利要求1所述的扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：所述冷冻样品台还包括壳体，所述半导体制冷片、水冷台、水冷台座设置于所述壳体内，所述样品载台设置于所述壳体的面板上。

7.如权利要求6所述的扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：所述冷冻样品台还设置有航空插头，所述航空插头设置于所述壳体的侧边，用于提供半导体制冷片的供电连接。