[实用新型]一种扫描电镜冷冻样品台

说明书

本实用新型公开了一种扫描电镜冷冻样品台，包括水冷台、半导体制冷片和样品载台，所述半导体制冷片设置于所述水冷台上，所述半导体制冷片的散热面和所述水冷台表面贴合；所述样品载台设置于所述半导体制冷片上，所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面贴合。本实用新型的扫描电镜冷冻样品台，利用半导体制冷片的制冷作用，通过合理的结构设计，使之小型化，使得所述冷冻样品台能被放置于扫描电镜下方，对样品提供直接冷冻，且能提供低于‑60℃的低温，以满足样品的低温要求及简化实验操作。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜领域，尤其涉及一种扫描电镜冷冻样品台。

背景技术

在扫描电镜领域，扫描电镜冷冻样品台通常采用高压冷冻的方法和液氮泥快速冷冻方法，将样品插入冷冻剂，通常是液氮，然后在真空下转移至冷冻扫描电镜制备系统样品制备室的冷台上，而实现这实验操作繁琐，结构复杂，价格昂贵。

实用新型内容

有鉴于现有技术的上述缺陷，本实用新型的目的是提供一种扫描电镜冷冻样品台，可放置于扫描电镜下方，对样品提供直接冷冻，以简化实验操作。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种扫描电镜冷冻样品台，包括水冷台、半导体制冷片和样品载台，

所述半导体制冷片设置于所述水冷台上，所述半导体制冷片的散热面和所述水冷台表面贴合；

所述样品载台设置于所述半导体制冷片上，所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面贴合。

进一步的，所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面之间设置有温度传感器，所述温度传感器和所述样品载台的底面贴合。

进一步的，所述半导体制冷片为多层结构，所述半导体制冷片和所述水冷台贴面的底层面积最大，然后向上逐级减小，所述半导体制冷片的顶层和所述样品载台的尺寸相当；所述半导体制冷片的层间，下一层的致冷面和上一层的散热面贴合。

进一步的，所述水冷台为采用乙二醇为水冷介质的水冷台。

进一步的，所述水冷台的管道从所述冷冻样品台的侧边引出。

进一步的，所述冷冻样品台还包括水冷台座，所述水冷台的底面和侧面包裹在所述水冷台座内，所述水冷台座内设置有保温材料。

进一步的，所述冷冻样品台还包括壳体，用于固定所述半导体制冷片、所述水冷台、所述水冷台座和所述样品载台。

进一步的，所述壳体侧方设置有航空插头，所述航空插头提供半导体制冷片的供电连接。

进一步的，所述冷冻样品台还包括样品台安装座，所述样品台安装座和所述壳体的底部连接。

本实用新型实现了如下技术效果：本实用新型的扫描电镜冷冻样品台，利用半导体制冷片的制冷作用，通过合理的结构设计，使之小型化，使得所述冷冻样品台能被放置于扫描电镜下方，对样品提供直接冷冻，且能提供低于-60℃的低温，以满足样品的低温要求及简化实验操作。

附图说明

图1是本实用新型的一个较佳实施例的冷冻样品台的结构图；

图2是本实用新型实施例的冷冻样品台的展开图；

图3是本实用新型实施例的冷冻样品台的剖面图。

具体实施方式

为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图。这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理。配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点。图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。

现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。