[实用新型]一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片

权利要求书

1.一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，包括外壳(1)和卡块(7)，其特征在于：所述外壳(1)的外壁两侧均设置有第一合页(2)，且第一合页(2)的一侧设置有防护盖(3)，所述防护盖(3)的外壁设置有第二合页(4)，且第二合页(4)的一侧设置有固定片(5)，同时固定片(5)的外壁均设置有螺纹孔(6)，所述卡块(7)均设置在外壳(1)的外壁一侧，且外壳(1)的另一侧外壁均设置有卡槽(8)，所述外壳(1)的外壁均设置有第一魔术贴(9)，且第一魔术贴(9)的外壁设置有聚氨酯层(10)，所述聚氨酯层(10)的外壁均设置有第二魔术贴(11)，且第二魔术贴(11)的外壁设置有薄膜(12)，所述薄膜(12)的后方外部两侧均设置有线路(13)，且线路(13)的内侧设置有螺纹板(14)，同时螺纹板(14)的外壁均贯穿有固定螺栓(15)。

2.根据权利要求1所述的一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述防护盖(3)、第一合页(2)与外壳(1)构成旋转结构，且第一合页(2)在防护盖(3)一侧呈等间距分布。

3.根据权利要求1所述的一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述固定片(5)、第二合页(4)与防护盖(3)构成旋转结构，且螺纹孔(6)在固定片(5)外壁呈等间距分布。

4.根据权利要求1所述的一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述卡块(7)通过卡槽(8)与外壳(1)卡合连接，且卡块(7)以外壳(1)的中轴线对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述聚氨酯层(10)通过第一魔术贴(9)与外壳(1)活动连接，且外壳(1)的尺寸与聚氨酯层(10)的尺寸相吻合。

6.根据权利要求1所述的一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述薄膜(12)通过第二魔术贴(11)与外壳(1)活动连接，且外壳(1)的尺寸与薄膜(12)的尺寸相吻合。

7.根据权利要求1所述的一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述螺纹板(14)通过固定螺栓(15)与外壳(1)螺纹连接，且螺纹板(14)与外壳(1)为平行分布。