[实用新型]一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片

说明书

本实用新型公开了一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，包括外壳和卡块，所述外壳的外壁两侧均设置有第一合页，且第一合页的一侧设置有防护盖，所述防护盖的外壁设置有第二合页，且第二合页的一侧设置有固定片，同时固定片的外壁均设置有螺纹孔，所述卡块均设置在外壳的外壁一侧，且外壳的另一侧外壁均设置有卡槽。该电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，通过外壳、第一合页、防护盖、第二合页、固定片和螺纹孔的设置，在使用时可以对外壳起到有效的防护作用，避免重物撞击到外壳上导致损坏无法使用，同时在防护后可以对防护盖进行固定，避免因晃动导致防护盖自动打开失去防护效果，便于固定可以避免这类情况发生。

技术领域

本实用新型涉及光学元件相关技术领域，具体为一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片。

背景技术

传统的光学元件基于光波的折射和反射原理，对入射光进行调制，从而实现工作光波前的聚焦、成像、分色等光学功能。传统光学元件的尺寸通常为工作波长的几百倍甚至上千倍，所以体积庞大、质量大、功能单一，一般采用机械的铣、磨、抛光等方式加工，工艺复杂，成本较高。后来，人们通过探索相位累计效应以外的新机理实现波束偏转，超表面便应运而生。超表面是一种通过控制波前相位、振幅以及偏振进行波束调控的新结构，在其最初研究者虞南方的论文中被定义为“能够使一束光在自由空间波长范围内产生相位、振幅及偏振突变效应的超薄平面光学元件”。其不仅突破了传统材料电磁属性，其二维平面结构为纳米光学器件集成化，小型化提供了便利。MEMS微振镜目前已经广泛应用在激光雷达、激光微投影、医用内窥镜、3D相机等领域中，但是微透镜镜面一般只起到反射作用，并没有对入射光线进行编辑的能力，若将超表面结构制备到镜面之中，其作为一种新型的平面光学设备，通过元表面和微机电系统的组合提供主动控制，可广泛应用于微型化的基于MEMS的显微镜系统、激光雷达扫描仪和投影系统之中。目前在国内还没有见到类似专利及文献。

但是目前使用的电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，在使用时大都防护效果均不好，容易发生外壳被撞击损坏等情况，同时不能在防护后进行固定，容易发生防护盖自动打开，失去防护效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，以解决上述背景技术中提出的目前使用的电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，在使用时大都防护效果均不好，容易发生外壳被撞击损坏等情况，同时不能在防护后进行固定，容易发生防护盖自动打开，失去防护效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，包括外壳和卡块，所述外壳的外壁两侧均设置有第一合页，且第一合页的一侧设置有防护盖，所述防护盖的外壁设置有第二合页，且第二合页的一侧设置有固定片，同时固定片的外壁均设置有螺纹孔，所述卡块均设置在外壳的外壁一侧，且外壳的另一侧外壁均设置有卡槽，所述外壳的外壁均设置有第一魔术贴，且第一魔术贴的外壁设置有聚氨酯层，所述聚氨酯层的外壁均设置有第二魔术贴，且第二魔术贴的外壁设置有薄膜，所述薄膜的后方外部两侧均设置有线路，且线路的内侧设置有螺纹板，同时螺纹板的外壁均贯穿有固定螺栓。

优选的，所述防护盖、第一合页与外壳构成旋转结构，且第一合页在防护盖一侧呈等间距分布。

优选的，所述固定片、第二合页与防护盖构成旋转结构，且螺纹孔在固定片外壁呈等间距分布。

优选的，所述卡块通过卡槽与外壳卡合连接，且卡块以外壳的中轴线对称设置。

优选的，所述聚氨酯层通过第一魔术贴与外壳活动连接，且外壳的尺寸与聚氨酯层的尺寸相吻合。

优选的，所述薄膜通过第二魔术贴与外壳活动连接，且外壳的尺寸与薄膜的尺寸相吻合。

优选的，所述螺纹板通过固定螺栓与外壳螺纹连接，且螺纹板与外壳为平行分布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：