[实用新型]一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备

权利要求书

1.一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，包括清洗槽，所述清洗槽用于容纳清洗液，其特征在于：所述清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽(11)，所述清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，所述清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，所述喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，所述注流组件包括相互连通的注流主管(4)和注流支管(41)，所述注流支管(41)设置于清洁槽的底部，所述注流支管(41)的侧壁上开设有若干注流孔(42)，当向所述注流主管(4)内注入清洗液时，清洗液由注流支管(41)上的注流孔(42)进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动，所述喷气组件用于干燥机械手臂夹手。

2.根据权利要求1所述的自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，其特征在于：所述清洗槽包括两个相互独立的槽体(1)，两个所述槽体(1)内分别注有用于清洗机械手臂夹手的两个夹持部(9)的清洗液，所述槽体(1)的底部均设置有注流支管(41)，两个所述槽体(1)均固定连接于连接板(2)上。

3.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，其特征在于：所述喷淋组件包括喷淋主管(3)和若干喷淋支管(31)，各个喷淋支管(31)分别与喷淋主管(3)相连通，每一所述槽体(1)上方分别设置有两个喷淋支管(31)，设置于同一槽体(1)上的两个喷淋支管(31)之间形成有使机械手臂夹手的夹持部(9)通过的间隙，各个所述喷淋支管(31)上均直线排布有若干喷淋喷嘴，所述喷淋喷嘴用于对夹持部(9)进行喷淋。

4.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，其特征在于：所述注流孔(42)开设于注流支管(41)的底部，且设置于同一注流支管(41)上的若干注流孔(42)呈直线分布，当向注流主管(4)中注入清洗液时，清洗液经过注流孔(42)并冲击到槽体(1)的底部，分散成多股并分别沿槽体(1)的侧壁向上流动形成循环。

5.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，其特征在于：所述槽体(1)底部设置有排水组件，所述排水组件用于排出清洗后的清洗液，所述排水组件包括排水主管(5)和若干排水支管(51)，所述排水支管(51)用于连通槽体(1)与排水主管(5)，所述排水主管(5)上设置有用于开启或关闭排水主管(5)的排水阀(52)。

6.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，其特征在于：所述喷气组件包括喷气主管(7)和若干喷气支管(71)，每个所述槽体(1)的上方均与两根喷气支管(71)固定连接，设置于同一所述槽体(1)上的两根喷气支管(71)分别用于对机械夹手的两个侧面进行干燥，所述喷气支管(71)上固定连接有若干喷气喷嘴，设置于同一所述喷气支管(71)上的喷淋喷嘴呈直线分布，喷气喷嘴朝向设置于同一槽体(1)上的另一喷气支管(71)所在方向并向下倾斜设置。

7.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，其特征在于：所述槽体(1)的材料采用透明的PVC材料。

8.根据权利要求3所述的自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，其特征在于：所述槽体(1)的槽口安装有两块相对设置的安装板(6)，所述安装板(6)上均开设有两个第一安装孔(61)，所述喷淋支管(31)的两端分别穿过正对的两个第一安装孔(61)并与第一安装孔(61)转动配合，所述安装板(6)上开设有两个第一通孔(63)，两个所述第一通孔(63)与第一安装孔(61)相连通，所述第一通孔(63)内贯穿有与喷淋支管(31)的外侧面相抵的固定件。

9.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，其特征在于：所述溢流沟槽(11)均匀分布于槽体(1)的槽口处，所述溢流沟槽(11)的截面呈V字形。

10.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，其特征在于：所述连接板(2)上开设有若干腰形孔(21)，所述腰形孔(21)用于调整连接板(2)的安装位置，若干所述腰形孔(21)分别设置于两个槽体(1)相互背离的两侧，所述连接板(2)的底部形成有两个相对设置的顶梁(22)，所述顶梁(22) 用于安装定位，两个所述顶梁(22)之间形成有加强筋(23)。