[实用新型]一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备

说明书

本专利申请涉及半导体加工技术领域，公开了一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，包括清洗槽，清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽，清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，注流组件包括相互连通的注流主管和注流支管，注流支管设置于清洁槽的底部，注流支管的侧壁上开设有若干注流孔，当向注流主管内注入清洗液时，清洗液由注流支管上的注流孔进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动，喷气组件用于干燥机械手臂夹手，相比于浸洗，附着于机械手臂夹手上的试剂不断地受到水流的冲击而从机械手表面分离，从而提升清洗效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备。

背景技术

半导体设备常通过各种晶圆传输用的机械手臂完成的入料、传输、出料等的动作，在湿法工艺中，晶圆需要在多种不同的试剂中浸泡反应，机械手臂夹手批量夹持晶圆或夹持晶圆花篮并在各个工艺模组之间进行输送，机械手臂夹手包括两个板状的夹持部，在夹取过程中，两个夹持部容易沾染试剂，在多个模组之间进行输送时容易造成交叉污染，影响湿法工艺处理后的晶圆产品的工艺品质。现有的机械手臂夹手的清洗方式常为浸洗，然而这种清洗方式所耗费的时间长，影响工作效率。

实用新型内容

本实用新型意在提供一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，其具有有效清洁机械手臂夹手，避免污染残留的特点。

为达到上述目的，本实用新型的基本方案如下：

一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，包括清洗槽，所述清洗槽用于容纳清洗液，所述清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽，所述清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，所述清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，所述喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，所述注流组件包括相互连通的注流主管和注流支管，所述注流支管设置于清洁槽的底部，所述注流支管的侧壁上开设有若干注流孔，当向所述注流主管内注入清洗液时，清洗液由注流支管上的注流孔进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动，所述喷气组件用于干燥机械手臂夹手。

进一步地，所述清洗槽包括两个相互独立的槽体，两个所述槽体内分别注有用于清洗两个的夹持部清洗液，所述槽体的底部均设置有注流支管，两个所述槽体均固定连接于连接板上，相比一整个清洁槽，两个槽体的容积更小，能够减少清洗液用量，并且清洗液在较小的槽内流动时，流动阻力小，更容易形成循环流动，以提升清洗效果。

进一步地，所述喷淋组件包括喷淋主管和若干喷淋支管，各个喷淋支管分别与喷淋主管相连通，每一所述槽体上方分别设置有两个喷淋支管，设置于同一槽体上的两个喷淋支管之间形成有使机械手臂夹手的夹持部通过的间隙，各个所述喷淋支管上均直线排布有若干喷淋喷嘴，所述喷淋喷嘴用于对夹持部进行喷淋。

进一步地，所述注流孔开设于注流支管的底部，且设置于同一注流支管上的若干注流孔呈直线分布，当向注流主管中注入清洗液时，清洗液经过注流孔并冲击到槽体的底部，清洗液并分散成多股并分别沿槽体的侧壁向上流动形成循环。

进一步地，所述槽体底部设置有排水组件，所述排水组件用于排出清洗后的清洗液，所述排水组件包括排水主管和若干排水支管，所述排水支管用于连通槽体与排水主管，所述排水主管上设置有用于开启或关闭排水主管的排水阀。

进一步地，所述喷气组件包括喷气主管和若干喷气支管，每个所述槽体的上方均与两根喷气支管固定连接，设置于同一所述槽体上的两根喷气支管分别用于对机械夹手的两个侧面进行干燥，所述喷气支管上固定连接有若干喷气喷嘴，设置于同一所述喷气支管上的喷淋喷嘴呈直线分布，喷气喷嘴朝向设置于同一槽体上的另一喷气支管所在方向并向下倾斜设置。

进一步地，所述槽体的材料采用透明的PVC材料，便于透过槽体观察夹持部的清洗状态。