[实用新型]一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种转动组件，其特征在于，包括：

固定轴，所述固定轴的一端设置有连接部；

转动座，所述转动座与所述固定轴转动连接；

蜗轮，所述蜗轮安装于所述固定轴；

蜗杆，所述蜗杆安装于所述转动座，且所述蜗杆与所述蜗轮啮合，所述蜗杆的转动轴线与所述蜗轮的转动轴线垂直设置；以及

电机，所述电机安装于所述转动座，且所述电机驱动连接所述蜗杆。

2.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述转动座包括至少一个安装面，所述安装面与所述固定轴平行设置。

3.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括中间连接块，所述中间连接块安装于所述转动座，且所述中间连接块与所述固定轴转动连接。

4.根据权利要求3所述的转动组件，其特征在于，所述固定轴包括安装部和支撑部，所述连接部位于所述支撑部背离所述安装部的一端，所述蜗轮安装于所述安装部，所述支撑部沿其轴向呈阶梯状，且所述支撑部的直径沿背离所述安装部的方向逐渐增大；所述中间连接块设置有用于与所述支撑部配合的安装腔，所述安装腔呈阶梯状，所述中间连接块套设于所述安装部外，且所述支撑部位于所述安装腔内。

5.根据权利要求4所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括第一轴承和推力轴承，所述第一轴承与所述推力轴承同轴设置，且所述第一轴承和所述推力轴承均位于所述安装腔内，所述第一轴承安装于所述安装部与所述中间连接块之间，所述推力轴承安装于所述支撑部与所述中间连接块之间。

6.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括定位管、第二轴承和螺母，所述第二轴承安装于所述固定轴背离所述连接部的一端，所述定位管套设于所述固定轴，且所述定位管位于所述第二轴承和所述蜗轮之间，所述螺母与所述固定轴螺纹连接，且所述螺母位于所述第二轴承背离所述蜗轮的一侧。

7.一种悬臂装置，其特征在于，包括U型板组件和如权利要求1至6任一项所述的转动组件，所述U型板组件安装于所述转动座。

8.根据权利要求7所述的悬臂装置，其特征在于，所述U型板组件包括连接件和U型件，所述U型件上设置有卡槽，所述连接件安装于所述卡槽内，且所述连接件与所述转动座连接。

9.根据权利要求8所述的悬臂装置，其特征在于，所述连接件包括安装座、连接杆和安装板，所述安装座与转动座连接，所述安装板安装于所述转动座内，所述连接杆的一端安装于所述安装座，所述连接杆的另一端与所述安装板连接。

10.一种等离子体化学气相沉积设备，其特征在于，包括上腔盖、万向节和如权利要求7至9任一项所述的悬臂装置，所述上腔盖通过所述万向节与所述U型板组件连接。