[实用新型]一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备

说明书

本申请公开了一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备，属于控制结构技术领域，转动组件包括固定轴、转动座、涡轮、蜗杆以及电机，涡轮与固定轴连接，转动座与固定轴之间转动连接，蜗杆与转动座转动连接，且蜗杆与涡轮啮合，电机驱动连接蜗杆，蜗杆的转动轴线可以与涡轮的转动轴线垂直设置。本实用新型公开的转动组件无需在待控制部件上加工轴孔，待控制部件可以直接与转动座进行连接，当电机驱动蜗杆转动时，蜗杆在自转的过程中绕涡轮转动，从而带动转动座上的结构或者部件转动，实现角度的调整，这种传动组件结构简单，蜗杆同时发生自转和公转，控制精度高，且转动稳定可靠。

技术领域

本实用新型涉及控制结构技术领域，具体而言，涉及一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备。

背景技术

一些部件间需要通过转动结构实现转动连接，以满足使用要求。

现有的转动结构往往是在部件上加工出转轴和轴孔，通过转轴和轴孔的转动连接，实现部件间的转动连接。

但是，加工出转轴和轴孔的方式需要对部件进行加工，加工过程较为繁琐，容易损害部件，且有些部件因形状特殊不易加工出合适的转轴和轴孔，从而，这样的方式并不方便实现转动连接。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是公开一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备，以改善上述的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

基于上述的目的，本实用新型公开了一种转动组件，包括：

固定轴，所述固定轴的一端设置有连接部；

转动座，所述转动座与所述固定轴转动连接；

蜗轮，所述蜗轮安装于所述固定轴；

蜗杆，所述蜗杆安装于所述转动座，且所述蜗杆与所述蜗轮啮合，所述蜗杆的转动轴线与所述蜗轮的转动轴线垂直设置；以及

电机，所述电机安装于所述转动座，且所述电机驱动连接所述蜗杆。

可选地：所述转动座包括至少一个安装面，所述安装面与所述固定轴平行设置。

可选地：所述转动组件还包括中间连接块，所述中间连接块安装于所述转动座，且所述中间连接块与所述固定轴转动连接。

可选地：所述固定轴包括安装部和支撑部，所述连接部位于所述支撑部背离所述安装部的一端，所述蜗轮安装于所述安装部，所述支撑部沿其轴向呈阶梯状，且所述支撑部的直径沿背离所述安装部的方向逐渐增大；所述中间连接块设置有用于与所述支撑部配合的安装腔，所述安装腔呈阶梯状，所述中间连接块套设于所述安装部外，且所述支撑部位于所述安装腔内。

可选地：所述转动组件还包括第一轴承和推力轴承，所述第一轴承与所述推力轴承同轴设置，且所述第一轴承和所述推力轴承均位于所述安装腔内，所述第一轴承安装于所述安装部与所述中间连接块之间，所述推力轴承安装于所述支撑部与所述中间连接块之间。

可选地：所述转动组件还包括定位管、第二轴承和螺母，所述第二轴承安装于所述固定轴背离所述连接部的一端，所述定位管套设于所述固定轴，且所述定位管位于所述第二轴承和所述蜗轮之间，所述螺母与所述固定轴螺纹连接，且所述螺母位于所述第二轴承背离所述蜗轮的一侧。

基于上述的目的，本实用新型还公开了一种悬臂装置，包括U 型板组件和如上所述的转动组件，所述U型板组件安装于所述转动座。

可选地：所述U型板组件包括连接件和U型件，所述U型件上设置有卡槽，所述连接件安装于所述卡槽内，且所述连接件与所述转动座连接。