[实用新型]一种掩膜治具

权利要求书

1.一种掩膜治具，用于太阳能电池基片的电极的制备，所述太阳能电池基片包括透明导电层，其特征在于：所述掩膜治具包括填充层和掩膜板，所述掩膜板包括框架以及位于所述框架内的用于形成电极的掩膜图形，所述掩膜图形能覆盖于所述透明导电层上方，所述填充层位于所述掩膜板的一侧并与所述掩膜图形中遮挡部对应，能与所述透明导电层接触并用于填充所述透明导电层被所述掩膜板覆盖区域表面的空隙。

2.根据权利要求1所述的掩膜治具，其特征在于，所述填充层和所述掩膜板之间还设有防护层，所述防护层与所述掩膜板上的所述遮挡部对应。

3.根据权利要求2所述的掩膜治具，其特征在于，所述填充层为柔性材料。

4.根据权利要求3所述的掩膜治具，其特征在于，所述柔性材料包括橡胶。

5.根据权利要求2-4任一项所述的掩膜治具，其特征在于，所述防护层和所述填充层固定连接。

6.根据权利要求2-4任一项所述的掩膜治具，其特征在于，所述防护层和所述填充层一体设置。

7.根据权利要求2-4任一项所述的掩膜治具，其特征在于，所述防护层和所述填充层的厚度之和的范围为0.1-2mm。

8.根据权利要求1-4任一项所述的掩膜治具，其特征在于，所述填充层用于与所述透明导电层接触的侧面上设有凹槽。

9.根据权利要求1-4任一项所述的掩膜治具，其特征在于，所述掩膜板上的所述框架至少覆盖所述太阳能电池基片的边缘。

10.根据权利要求1-4任一项所述的掩膜治具，其特征在于，所述太阳能电池基片为异质结电池，所述掩膜治具适用于所述异质结电池在物理气相沉积工艺中在所述透明导电层上方制备栅线电极。