[实用新型]一种掩膜治具

说明书

本申请实施例中提供了一种掩膜治具，属于太阳能电池制造的技术领域，该掩膜治具具体包括填充层和掩膜板，掩膜板包括框架以及位于框架内的用于形成电极的掩膜图形，掩膜图形能覆盖于透明导电层上方；填充层位于掩膜板的一侧并与掩膜图形中遮挡部对应，能与透明导电层接触并用于填充透明导电层被掩膜板覆盖区域表面的空隙。通过本申请的掩膜治具，改善了现有技术中掩膜虚掩或者溢镀的问题，提高太阳能电池的发电效率。

技术领域

本申请涉及太阳能电池制造的领域，尤其是涉及一种掩膜治具。

背景技术

太阳能电池经过制绒、扩散及PECVD等工序后，已经制成PN结，可以在光照下产生电流，为了将产生的电流导出，需要在电池表面上制作正、负两个电极。通常会通过丝网印刷方式在电池表面制备金属栅线，形成正、负电极。

丝网印刷是采用压印的方式将预定的图形印刷在基板上，该工艺由电池背面银浆印刷和电池正面银浆多次印刷来完成。其工作原理为：利用丝网图形部分网孔透过浆料，用刮刀在丝网的浆料部位施加一定压力，同时朝丝网另一端移动。在移动中被刮刀从图形部分的网孔中挤压到基片上。由于浆料的粘性作用使印迹固着在一定范围内，印刷中刮板始终与丝网印版和基片呈线性接触，接触线随刮刀移动而移动，从而完成印刷行程。但是，印刷前需对银浆进行稀释和搅拌，搅拌不均会严重影响印刷效果，对银浆粒径大小要求较高，稀释剂与透明导电层接触对其造成污染。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供一种掩膜治具，用于使用物理气相沉积法对太阳能电池基片的电极进行制备。

本申请提供的一种掩膜治具采用如下的技术方案：

一种掩膜治具，用于太阳能电池基片电极的制备，所述太阳能电池基片包括透明导电层，所述掩膜治具包括填充层和掩膜板，所述掩膜板包括框架以及位于所述框架内的用于形成电极的掩膜图形，所述掩膜图形能覆盖于所述透明导电层上方；所述填充层位于所述掩膜板的一侧并与所述掩膜图形中遮挡部对应，能与所述透明导电层接触并用于填充所述透明导电层被所述掩膜板覆盖区域表面的空隙。

通过采用上述技术方案，使用填充层对掩膜板和透明导电层表面的金字塔之间的空隙进行填充，然后再进行物理气相沉积法制备电极；使用气相沉积的方法制备电极，可以解决对银浆搅拌不均，影响印刷效果的问题，也可以减小稀释剂与透明导电层接触对其造成的污染。由于普通的掩膜板不能和透明导电层表面上的金字塔完全贴合，在没有填充层的情况下，掩膜板和透明导电层之间存在空隙，会造成掩膜虚掩或者溢渡的情况发生。本申请使用填充层掩膜板和透明导电层表面之间空隙进行填充，减少掩膜虚掩的情况，增加入射到电池里的光能，提高太阳能电池的发电效率。

可选的，所述填充层和所述掩膜板之间还设有防护层，所述防护层与所述掩膜板上的所述遮挡部对应。

通过采用上述技术方案，防护层的设置，可以将金字塔的顶点和掩膜板隔开，减少掩膜板对透明导电层表面的金字塔的破坏。

可选的，所述填充层为柔性材料。

通过采用上述技术方案，柔性材料作为可变形的材料，可以不用特意制造出于金字塔完成吻合的形状，而是通过柔性材料自身受压后的变形，将金字塔和掩膜板之间的空隙填充，简化掩膜治具的制造工艺。

可选的，所述柔性材料包括橡胶。

通过采用上述技术方案，橡胶具有一定的弹性和变形能力，受压后的回弹力可以紧密的与透明导电层的表面接触，提高填充层的填充效果。

可选的，所述防护层和所述填充层固定连接。

通过采用上述技术方案，填充层通过防护层固定在掩膜板上，固定掩膜板后，可以减小填充层在掩膜板和透明导电层之间的移动，减小造成填充层的跑偏的情况，减少对气相沉积过程形成金属栅线的影响。

可选的，所述防护层和所述填充层一体设置。