[实用新型]一种液体脱泡装置及液体脱泡系统有效

专利信息
申请号: 202023341685.6 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN214436723U 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 杨逍鹃;曹立强 申请(专利权)人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
主分类号: B01D19/02 分类号: B01D19/02
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 薛异荣
地址: 214000 江苏省无锡市新区太湖国*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 液体 脱泡 装置 系统
【权利要求书】:

1.一种液体脱泡装置,其特征在于,包括:

脱泡腔(4),适于盛放待脱泡液体;所述脱泡腔(4)在进行脱泡工作时呈密闭状态;

搅拌装置,设置在所述脱泡腔(4)上;所述搅拌装置适于对所述脱泡腔(4)中的待脱泡液体进行搅拌;

振动装置,设置在所述脱泡腔(4)中;所述振动装置适于对所述脱泡腔(4)中的待脱泡液体进行振动;

真空泵(1),与所述脱泡腔(4)连通。

2.根据权利要求1所述的液体脱泡装置,其特征在于,所述搅拌装置包括:

搅拌桨,包括搅拌棒(5)以及若干桨叶(8);所述桨叶(8)设置在所述搅拌棒(5)上。

3.根据权利要求2所述的液体脱泡装置,其特征在于,还包括:驱动电机(2),设置在所述脱泡腔(4)上;所述驱动电机(2)的输出轴与所述搅拌棒(5)连接。

4.根据权利要求3所述的液体脱泡装置,其特征在于,所述搅拌棒(5)包括相对的第一端和第二端,所述第一端与所述驱动电机(2)的输出轴连接,所述第二端的周向设置有所述桨叶(8)。

5.根据权利要求1-4任一项所述的液体脱泡装置,其特征在于,所述振动装置包括振动器(6),所述振动器(6)包括振动杆(62)以及套设在部分所述振动杆(62)外的振动马达(61)。

6.根据权利要求5所述的液体脱泡装置,其特征在于,沿所述振动杆(62)的中心轴向,所述振动杆(62)包括适于伸入所述待脱泡液体的振动部。

7.根据权利要求1-4任一项所述的液体脱泡装置,其特征在于,还包括:

容纳杯(7),设置在所述脱泡腔(4)中;所述容纳杯(7)用于盛放所述待脱泡液体。

8.根据权利要求1-3任一项所述的液体脱泡装置,其特征在于,

所述脱泡腔(4)的顶部设置有开口;

所述脱泡腔(4)还包括盖体(3),所述盖体(3)具有封盖所述开口的第一状态以及打开所述开口的第二状态。

9.一种液体脱泡系统,其特征在于,包括:如权利要求1-8任一项所述的液体脱泡装置。

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