[实用新型]一种液体脱泡装置及液体脱泡系统有效
申请号: | 202023341685.6 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214436723U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 杨逍鹃;曹立强 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | B01D19/02 | 分类号: | B01D19/02 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 薛异荣 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新区太湖国*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 液体 脱泡 装置 系统 | ||
1.一种液体脱泡装置,其特征在于,包括:
脱泡腔(4),适于盛放待脱泡液体;所述脱泡腔(4)在进行脱泡工作时呈密闭状态;
搅拌装置,设置在所述脱泡腔(4)上;所述搅拌装置适于对所述脱泡腔(4)中的待脱泡液体进行搅拌;
振动装置,设置在所述脱泡腔(4)中;所述振动装置适于对所述脱泡腔(4)中的待脱泡液体进行振动;
真空泵(1),与所述脱泡腔(4)连通。
2.根据权利要求1所述的液体脱泡装置,其特征在于,所述搅拌装置包括:
搅拌桨,包括搅拌棒(5)以及若干桨叶(8);所述桨叶(8)设置在所述搅拌棒(5)上。
3.根据权利要求2所述的液体脱泡装置,其特征在于,还包括:驱动电机(2),设置在所述脱泡腔(4)上;所述驱动电机(2)的输出轴与所述搅拌棒(5)连接。
4.根据权利要求3所述的液体脱泡装置,其特征在于,所述搅拌棒(5)包括相对的第一端和第二端,所述第一端与所述驱动电机(2)的输出轴连接,所述第二端的周向设置有所述桨叶(8)。
5.根据权利要求1-4任一项所述的液体脱泡装置,其特征在于,所述振动装置包括振动器(6),所述振动器(6)包括振动杆(62)以及套设在部分所述振动杆(62)外的振动马达(61)。
6.根据权利要求5所述的液体脱泡装置,其特征在于,沿所述振动杆(62)的中心轴向,所述振动杆(62)包括适于伸入所述待脱泡液体的振动部。
7.根据权利要求1-4任一项所述的液体脱泡装置,其特征在于,还包括:
容纳杯(7),设置在所述脱泡腔(4)中;所述容纳杯(7)用于盛放所述待脱泡液体。
8.根据权利要求1-3任一项所述的液体脱泡装置,其特征在于,
所述脱泡腔(4)的顶部设置有开口;
所述脱泡腔(4)还包括盖体(3),所述盖体(3)具有封盖所述开口的第一状态以及打开所述开口的第二状态。
9.一种液体脱泡系统,其特征在于,包括:如权利要求1-8任一项所述的液体脱泡装置。
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