[实用新型]晶棒防坠装置和晶体生长设备

权利要求书

1.一种晶棒防坠装置，其特征在于，所述晶棒防坠装置适于设在晶体生长装置的副室的底部，以阻挡晶棒坠落，所述晶棒防坠装置包括：

防护盘，所述防护盘适于位于所述副室的正下方；

连接件，所述连接件设在所述防护盘上，所述连接件的上端适于与所述副室可拆卸地相连，所述连接件具有锁定状态和解锁状态，在所述连接件处在所述锁定状态时，所述连接件相对所述防护盘固定，在所述连接件处在所述解锁状态时，所述连接件相对所述防护盘可活动或者所述连接件从所述防护盘上拆下。

2.根据权利要求1所述的晶棒防坠装置，其特征在于，所述连接件为多个，多个所述连接件沿所述防护盘的周向间隔设置且邻近所述防护盘的外周沿。

3.根据权利要求2所述的晶棒防坠装置，其特征在于，所述连接件的下端与所述防护盘可转动地相连，以使所述连接件的上端可远离和靠近所述防护盘的中心轴线，所述晶棒防坠装置还包括用于将所述连接件锁定在所述锁定状态的锁定件。

4.根据权利要求3所述的晶棒防坠装置，其特征在于，所述防护盘包括防护盘本体和设在所述防护盘本体上的连接柱，所述连接柱的数量与所述连接件的数量相同且一一对应，每个所述连接件的下端与对应的所述连接柱可转动地相连，在所述连接件处在所述锁定状态时，所述锁定件连接所述连接件和所述连接柱。

5.根据权利要求2所述的晶棒防坠装置，其特征在于，多个所述连接件与所述防护盘之间限定出容纳空间，所述副室的底部适于容纳在所述容纳空间内，所述连接件包括连接杆和卡爪，所述卡爪设在所述连接杆的上端，所述连接杆的下端与所述防护盘连接，所述副室上形成有卡槽，所述卡爪的至少一部分适于容纳配合在所述卡槽内。

6.根据权利要求5所述的晶棒防坠装置，其特征在于，所述副室包括副室本体、下法兰盘和多个加强肋，所述下法兰盘设在所述副室本体的底面，多个所述加强肋设在所述下法兰盘的上表面且沿所述下法兰盘的周向间隔排布，每个所述加强肋均与所述副室本体的外周壁相连，所述加强肋的数量与所述连接件的数量相同且一一对应，每个所述加强肋的上端面均形成有所述卡槽。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的晶棒防坠装置，其特征在于，还包括：缓冲垫，所述缓冲垫设在所述防护盘的上表面，所述缓冲垫的至少一部分位于所述防护盘的中部。

8.根据权利要求7所述的晶棒防坠装置，其特征在于，所述防护盘的中部形成有通孔，所述缓冲垫上形成有沿上下方向贯穿所述缓冲垫的缓冲孔，所述缓冲孔与所述通孔相对设置，所述缓冲孔的最大直径小于所述晶棒的最大直径。

9.根据权利要求8所述的晶棒防坠装置，其特征在于，所述缓冲孔呈圆柱状，或者所述缓冲孔呈上大下小的圆台状。

10.一种晶体生长设备，其特征在于，包括：

用于生长晶体的晶体生长装置；

晶棒防坠装置，所述晶棒防坠装置为根据权利要求1-9中任一项所述的晶棒防坠装置，所述晶棒防坠装置适于设在所述晶体生长装置的副室的底部，以阻挡晶棒坠落。